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鍍金鍍碳一體機(jī)（通常指用于材料表面處理的真空鍍膜設(shè)備，如離子濺射鍍膜儀或蒸發(fā)鍍膜儀）的操作需要嚴(yán)格遵循流程，以確保鍍層質(zhì)量、設(shè)備安全及實(shí)驗(yàn)可重復(fù)性。以下是通用操作指南，具體步驟需根據(jù)設(shè)備型號(hào)調(diào)整。
一、鍍金鍍碳一體機(jī)操作前準(zhǔn)備
1.設(shè)備檢查
確認(rèn)真空泵油位正常（機(jī)械泵油需覆蓋油窗2/3以上），擴(kuò)散泵或分子泵無油污。
檢查水冷系統(tǒng)（如有）是否暢通，水管無堵塞或泄漏。
確認(rèn)電源、氣路（氬氣、氮?dú)饣蜓鯕猓┻B接正常，氣壓符合要求。
2.樣品準(zhǔn)備
清潔樣品表面：用乙醇、丙酮或超聲波清洗去除油污，干燥后放入樣品臺(tái)。
導(dǎo)電處理：非導(dǎo)電樣品（如樹脂、塑料）需噴鍍導(dǎo)電層（如先鍍碳再鍍金）或使用導(dǎo)電膠粘貼。
固定樣品：使用導(dǎo)電銀膠或夾具固定，確保樣品臺(tái)與靶材正對(duì)。
3.靶材與耗材確認(rèn)
安裝金靶或碳棒（根據(jù)需求）：
金靶：檢查靶材純度，清理表面氧化層。
碳棒：確認(rèn)碳繩或碳棒長度足夠，避免蒸發(fā)中途耗盡。
關(guān)閉腔室門，檢查密封圈無破損。
二、鍍金鍍碳一體機(jī)操作步驟（以真空蒸發(fā)鍍膜為例）
1.抽真空
機(jī)械泵預(yù)抽：打開機(jī)械泵，將腔室真空度抽至≤5Pa（約10分鐘）。
分子泵/擴(kuò)散泵啟動(dòng)：
當(dāng)?shù)驼婵者_(dá)標(biāo)后，啟動(dòng)分子泵（需預(yù)熱10分鐘）或開啟擴(kuò)散泵加熱。
2.鍍膜參數(shù)設(shè)置
鍍碳步驟（如需打底）：
開啟碳蒸發(fā)源電源，設(shè)置電流。
沉積時(shí)間：10-60秒。
鍍金步驟：
切換金靶電源，設(shè)置加速電壓。
電流控制：直流濺射電流，射頻模式功率。
時(shí)間控制：鍍金層厚度通常5-20nm，時(shí)間需通過標(biāo)定速率計(jì)算。
3.鍍膜過程監(jiān)控
速率校準(zhǔn)：使用石英晶體測厚儀實(shí)時(shí)監(jiān)測沉積速率，調(diào)整功率或時(shí)間。
氣體流量控制：
氬氣（Ar）用于濺射鍍金。
氮?dú)饣蜓鯕饪捎糜诜磻?yīng)濺射，需按工藝要求調(diào)節(jié)。
4.結(jié)束鍍膜
關(guān)閉蒸發(fā)源或靶材電源，停止氣體供應(yīng)。
維持真空狀態(tài)自然冷卻至室溫，避免熱應(yīng)力導(dǎo)致鍍層脫落。
三、鍍金鍍碳一體機(jī)后處理與設(shè)備維護(hù)
1.樣品取出
破空先關(guān)閉高真空閥，緩慢充入惰性氣體（氬氣或氮?dú)猓┲脸?，避免空氣沖擊污染鍍層。
取出樣品后立即存放于干燥器中，防止吸潮氧化。
2.設(shè)備清潔
清理腔壁殘留的鍍料（如用無塵布擦拭金靶飛濺區(qū)域）。
定期更換真空泵油并清洗濾網(wǎng)。
3.記錄與存檔
記錄關(guān)鍵參數(shù)：真空度、電流、時(shí)間、靶材尺寸、樣品名稱等。
使用SEM或光學(xué)顯微鏡檢查鍍層均勻性，反饋優(yōu)化參數(shù)。
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