激光測(cè)長(zhǎng)機(jī)是利用激光進(jìn)行非接觸式、高精度距離測(cè)量的長(zhǎng)度測(cè)量機(jī)。

由于它使用波長(zhǎng)為數(shù)百納米的可見光激光，因此可以以亞微米分辨率進(jìn)行測(cè)量。通過(guò)用激光照射附著在樣品上的角錐棱鏡并分析反射激光的相位差來(lái)測(cè)量到樣品的距離。

還有一臺(tái)激光長(zhǎng)度測(cè)量機(jī)，可以使用可選軟件測(cè)量樣品速度、加速度和位移。

激光測(cè)長(zhǎng)機(jī)的應(yīng)用

激光測(cè)長(zhǎng)機(jī)用于需要高精度定位的設(shè)備，例如半導(dǎo)體制造設(shè)備、電氣和電子設(shè)備制造設(shè)備。此外，由于它使用光，還可以測(cè)量快速移動(dòng)的貼片機(jī)和打印機(jī)頭的速度和位置。

另外，通過(guò)使用兩臺(tái)激光測(cè)長(zhǎng)機(jī)同時(shí)測(cè)量設(shè)備的工作臺(tái)等運(yùn)動(dòng)部件上不同位置的距離，可以檢查工作臺(tái)是否有俯仰或偏擺，或者工作臺(tái)內(nèi)部是否有位移。相同的設(shè)備。

激光測(cè)長(zhǎng)機(jī)原理

激光長(zhǎng)度測(cè)量機(jī)根據(jù)照射樣品并反射回來(lái)的激光束的相位差來(lái)計(jì)算距離。將一個(gè)小的、輕的角錐棱鏡附著在樣品上以反射激光束。用激光照射該立方體并分析反射光。

由于反射光與發(fā)射光存在相位差，因此這些光之間會(huì)發(fā)生干涉。由于相位差根據(jù)距離而變化，因此可以通過(guò)分析干涉結(jié)果來(lái)確定距離。激光的波長(zhǎng)約為600納米，測(cè)量精度 高，達(dá)到亞微米級(jí)。

此外，通過(guò)縮小激光束的采樣間距，可以獲得樣本速度、加速度和位移等動(dòng)態(tài)信息。根據(jù)設(shè)備的不同，可以以高達(dá) 1 MHz 的頻率進(jìn)行采樣，因此也可以測(cè)量高速移動(dòng)或反復(fù)進(jìn)行微小而精確的移動(dòng)的設(shè)備的速度。

激光測(cè)長(zhǎng)機(jī)的類型

根據(jù)用途不同，激光長(zhǎng)度測(cè)量機(jī)有多種類型。

1.激光測(cè)距儀（激光測(cè)距儀）

常見的激光測(cè)長(zhǎng)機(jī)，用于測(cè)量單點(diǎn)距離。它們有多種尺寸，從適合手掌的手持式到測(cè)量范圍達(dá)數(shù)公里的大型。常用于建筑工地和測(cè)量。

2. 激光干涉儀

這是一種利用激光干涉來(lái)測(cè)量距離的裝置。激光束被分裂并發(fā)生干涉以檢測(cè)距離的微小變化。具有 高的測(cè)量精度，適合測(cè)量納米單位的微小位移。它用于微細(xì)加工和光學(xué)器件評(píng)估等領(lǐng)域。

3、激光多點(diǎn)測(cè)距儀（激光跟蹤儀）

這是一種通過(guò)用激光束照射物體并用多個(gè)光接收傳感器接收反射光來(lái)測(cè)量物體的位置和形狀的裝置。主要應(yīng)用于工業(yè)領(lǐng)域，用于機(jī)械加工、汽車制造等中的位置和形狀測(cè)量。

4. 激光測(cè)振儀

這是一種用激光照射物體并根據(jù)反射光測(cè)量振動(dòng)和位移的裝置。它具有 高的測(cè)量精度，用于機(jī)器振動(dòng)分析和材料評(píng)估。

5、激光定位裝置（激光跟蹤系統(tǒng)）

這是一種使用激光來(lái)跟蹤物體和移動(dòng)體的位置和速度的設(shè)備。它用于航空航天、機(jī)器人、動(dòng)作捕捉和其他需要高速、精確位置測(cè)量的領(lǐng)域。