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隔膜真空泵通過氣動或電動驅(qū)動隔膜往復(fù)運動，實現(xiàn)高效抽真空，其核心原理可分為驅(qū)動方式、隔膜運動及真空生成三個關(guān)鍵環(huán)節(jié)：
1.驅(qū)動方式：氣動或電動提供動力
氣動驅(qū)動：以壓縮空氣為動力源，氣源壓力通常需大于2kg/cm²。壓縮空氣通過進氣閥進入泵體氣腔，推動隔膜向一側(cè)運動，同時另一側(cè)氣腔內(nèi)的氣體通過排氣閥排出。換向機構(gòu)（如配氣閥）自動切換壓縮空氣流向，驅(qū)動隔膜反向運動，形成連續(xù)往復(fù)循環(huán)。此設(shè)計無需電力，適用于易燃易爆或強腐蝕性環(huán)境。
電動驅(qū)動：采用微型直流電動機（如5V、12V、24V）或微型長壽電機，通過機械偏心裝置帶動隔膜做往復(fù)運動。電機旋轉(zhuǎn)運動經(jīng)偏心輪轉(zhuǎn)換為直線運動，驅(qū)動隔膜壓縮和拉伸泵腔。
2.隔膜運動：往復(fù)循環(huán)改變腔體容積
隔膜采用高強度彈性材料（如PTFE或橡膠），在驅(qū)動力的作用下做直線往復(fù)運動。當(dāng)隔膜向一側(cè)移動時，泵腔容積擴大，壓強降低，形成負壓區(qū)；當(dāng)隔膜反向運動時，泵腔容積縮小，壓強升高，形成正壓區(qū)。通過連續(xù)往復(fù)運動，泵腔內(nèi)氣壓交替變化，實現(xiàn)氣體的吸入與排出。
3.真空生成：壓力差驅(qū)動氣體流動
在隔膜往復(fù)運動過程中，泵腔與外界大氣壓產(chǎn)生壓力差。當(dāng)泵腔內(nèi)壓強低于外界大氣壓時，氣體通過進氣口被吸入；當(dāng)泵腔內(nèi)壓強高于外界大氣壓時，氣體通過排氣口被壓縮排出。部分機型采用多級隔膜設(shè)計，通過多個隔膜交替作用提升抽氣效率，縮短達到目標真空度的時間。
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