1. 產(chǎn)品概述

2. 主要特點(diǎn)

• 無油設(shè)計：隔膜泵不需要使用潤滑油，因此不會污染真空腔內(nèi)的環(huán)境，特別適合高清潔度要求的應(yīng)用。
• 低振動和低噪音：運(yùn)行平穩(wěn)，噪音和振動水平較低，適合在實(shí)驗室和精密設(shè)備環(huán)境中使用。
• 耐腐蝕性強(qiáng)：隔膜和泵腔通常采用耐腐蝕材料制成，能夠處理含有腐蝕性氣體的環(huán)境。
• 高可靠性：結(jié)構(gòu)簡單，維護(hù)成本低，使用壽命長。
• 緊湊設(shè)計：體積小，重量輕，便于安裝和集成到各種系統(tǒng)中。

3. 技術(shù)參數(shù)

• 極限真空度：通?？梢赃_(dá)到10?3 Torr（具體取決于型號）。
• 抽氣速率：從幾升/分鐘到幾十升/分鐘不等，具體取決于泵的大小和型號。
• 工作壓力范圍：從大氣壓到極限真空度。
• 適用氣體：可以處理多種氣體，包括干燥空氣、惰性氣體和部分腐蝕性氣體（需根據(jù)具體材料選擇）。

4. 應(yīng)用場景

• 半導(dǎo)體制造：用于光刻、蝕刻和薄膜沉積等工藝中的真空環(huán)境。
• 科研實(shí)驗：在物理、化學(xué)和材料科學(xué)實(shí)驗中提供穩(wěn)定的真空環(huán)境。
• 電子工業(yè)：用于電子元件的制造和測試。
• 醫(yī)療設(shè)備：在需要高清潔度的醫(yī)療設(shè)備中使用，如質(zhì)譜儀和真空干燥設(shè)備。
• 食品工業(yè)：用于真空包裝和干燥工藝。

5. 型號舉例

6. 維護(hù)與保養(yǎng)

• 定期檢查隔膜：隔膜是隔膜泵的關(guān)鍵部件，需定期檢查其磨損情況，及時更換。
• 清潔泵腔：定期清理泵腔內(nèi)的灰塵和雜質(zhì)，以保持泵的性能。
• 檢查密封性：確保泵的密封性能良好，避免漏氣。
• 避免過載運(yùn)行：不要長時間在極限真空度下運(yùn)行泵，以免損壞隔膜。

7. 優(yōu)勢與選擇理由

• 高清潔度：無油設(shè)計確保真空環(huán)境的純凈。
• 低維護(hù)成本：結(jié)構(gòu)簡單，易于維護(hù)。
• 高可靠性：適合長時間穩(wěn)定運(yùn)行。
• 多樣化選擇：提供多種型號和配置，滿足不同用戶需求。