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EBARA 荏原ESR20N節(jié)能型干式真空泵
EBARA 荏原ESR20N節(jié)能型干式真空泵
轉(zhuǎn)子設計和怠速功能，實現(xiàn)節(jié)能和小型化。 它有助于降低運營成本。 耐腐蝕材料選項可用于廣泛的應用，從負載鎖和 SEM 等輕負載應用到腐蝕性工藝。
特長
通過寬范圍溫度控制實現(xiàn)廣泛的工藝覆蓋
節(jié)能·省空間
應對腐蝕性氣體(標準采用耐腐蝕材料)
對應應用示例:各種蝕刻和CVD、灰化、離子注入、外延生長等
| 型 | 單位 | ESR20N | ESR30型 | ESR30N | ESR500W（N） | |
| 冷卻水 | 流量 | 升/分鐘 | 2~8 | 3.5~8 | 3.5~8 | 3.5~8 |
| 溫度 | °C | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | 最多 30 | |
| 權力 | 功率容量 | 千伏 | 4 | 7 | 7 | 12.3 |
| 排氣速度 | 升/分鐘 | 1,300 ~ 2,000 | 3000 | 3000 | 46000 | |
| 達到壓力 | 帕 | 2 | 0.53 | 0.67 | 0.2 | |
| 連接口徑 | 進氣 | NW40 | 西北50 | 西北50 | ISO160 認證 | |
| 排氣口 | NW40 | NW40 | NW40 | NW40 | ||
| 達到壓力時的近似功率。 | 千瓦 | 0.7 | 1.7 | 1.7 | 3.1 | |
| N2 | 流量 | Pa•m3/s | 19~22 （0） | 19~22 （3.4） | 19~22 （3.4） | 19~22 （3.4） |
| 電源相位/電壓/頻率 | 200V 型號 | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | 三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz | |
| 400V 型號 | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | 三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz | ||
| 原理圖質(zhì)量 | 公斤 | 90 | 190 | 190 | 500 | |
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