Nature Communications: 硅納米器件中熱電子增強熱電效應的直接觀測
內(nèi)容簡介
隨著半導體技術的不斷進步,晶體管尺寸持續(xù)縮小。在此趨勢下,電子在納米晶體管中的行為發(fā)生顯著變化,其熱平衡狀態(tài)遭到嚴重破壞,電子溫度(Te)遠高于晶格溫度(TL),形成所謂的“電子熱點”。這些電子熱點對芯片的散熱管理帶來巨大挑戰(zhàn),成為制約芯片性能提升的關鍵瓶頸。目前,傳統(tǒng)的被動冷卻技術主要依賴材料的熱傳導性能,但由于材料熱導率存在上限,且界面熱阻在模塊總熱阻中占比逐漸增大,導致外部冷卻手段效果十分有限,難以滿足后摩爾時代納米電子學日益增長的散熱需求。
半導體熱電制冷作為一種主動冷卻技術,近年來受到廣泛關注。該技術利用熱電效應,通過電流驅動實現(xiàn)熱量的定向傳輸,其制冷性能不受材料熱導率的限制。在宏觀尺度上,熱電制冷技術已取得顯著進展,并在無機械運動制冷領域得到廣泛應用。然而,當尺寸縮小到納米尺度時,傳統(tǒng)的基于局部熱平衡(LTE)假設的熱電理論不再適用。納米尺度下,電子溫度可能顯著高于晶格溫度,且熱點區(qū)域的溫度梯度和電流密度高,遠超宏觀尺度下可能達到的值。
針對納米尺度下半導體器件的熱電特性,復旦大學Huanyi Xue等研究人員,采用Bruker Dimension Icon原子力顯微鏡的掃描熱顯微模式(SThM), 研究了硅納米器件中的熱電效應。研究通過實驗和數(shù)值模擬相結合的方法,探索硅在非平衡態(tài)下的熱電性能,并驗證非平衡態(tài)下基于電子溫度的熱電效應增強機制,為未來納米電子學的熱管理提供新的理論依據(jù)和實驗指導。
相關成果Direct observation of hot-electron-enhanced thermoelectric effects in silicon nanodevices于2023年6月發(fā)表于Nature Communications上。
研究中采用磷摻雜(濃度約為1×1019cm-3)的硅薄膜(厚度約90nm),通過外延生長法沉積在高電阻率Si襯底上。利用納米限制結構設計,將電流集中在寬度約400nm的狹窄區(qū)域,從而實現(xiàn)高度局域化的電子熱點。這種結構設計使得在外部偏壓作用下,電場主要集中在納米限制區(qū)域,為研究納米尺度下的熱電效應提供了理想平臺。
掃描熱顯微鏡(SThM)是一種接觸式納米溫度測量技術,通過探針檢測樣品表面的局部晶格溫度分布。在此實驗過程中,樣品置于常溫常壓環(huán)境下,施加交流或脈沖電壓,激發(fā)樣品產(chǎn)生熱信號。SThM 探針掃描樣品,收集的熱電壓信號經(jīng)處理生成溫度分布圖像。
圖1.a 原子力顯微鏡圖像顯示了約400nm寬的限制區(qū)域和約120納米的高度變化(ΔH),展示了通道的平滑表面和尖銳的蝕刻邊界。b 利用SNoiM技術在對狹窄導電通道施加10V偏壓時測得的二維Te圖像。c 利用SThM技術在同一設備上測得的二維TL圖像,與SNoiM測量的偏壓相同,均為10V。d 在與b和c圖相同的偏壓條件下,沿通道獲取的Te(紅點)和TL(藍點)的一維曲線。箭頭指示了Te和TL曲線的寬度。虛線垂直藍線標記了限制區(qū)域的中心,以引導TL的偏差。圖中標示了所施加電壓的極性。
圖1a顯示了限制區(qū)域周圍的原子力顯微鏡(AFM)高度信號圖像,展示了通道的平滑表面和尖銳的蝕刻邊界。通過AFM確認的約120nm的蝕刻深度大于摻雜層的厚度,確保了所有電流都限制在限制區(qū)域的外延層內(nèi)。通過歐姆接觸電極在源極和漏極之間施加偏壓(正弦波或方波)。線性電流-電壓(I-V)特性證實了良好的歐姆接觸,排除了接觸電極的整流行為對本研究結果的可能影響。
為直接探索器件的非平衡特性,該研究采用結合掃描噪聲顯微鏡(SNoiM)與掃描熱顯微鏡(SThM)的方法,分別探測電子與晶格子系統(tǒng)的Te和TL。SNoiM 是一種新開發(fā)的非接觸式輻射電子納米溫度測量技術,通過檢測源于熱電子隨機熱運動的約20.7±1.2THz的近場fluctuating電磁場,提供Te分布信息。相比之下,SThM是一種接觸式納米溫度測量技術,利用探針檢測局部TL分布。圖1b、c顯示了在10V交流方波偏壓下納米結構周圍Te和TL的二維空間分布,與圖1a的掃描區(qū)域相同。Te和TL的熱點均可見且集中在導電通道的瓶頸處。Te的峰值超過1500K(ΔTe~1200K),而在相同偏壓下晶格子系統(tǒng)TL值僅約為320K(ΔTL~20K)。這一顯著的溫差證明了傳導電子與晶格子系統(tǒng)之間存在非平衡現(xiàn)象。為了詳細比較Te和TL,圖1d描述了在與圖1b、c相同偏壓條件下沿通道獲取的Te(紅點)和TL(藍點)的一維曲線,其中Te和TL的垂直坐標比例尺已調(diào)整使峰值高度對齊。顯然,TL的線形略寬于Te(見箭頭指示)。Te的尖銳窄峰展示了由電子子系統(tǒng)相對較小的比熱和低熱導率引起的典型非平衡特征。
圖2.通過SThM解耦檢測來自TL的焦耳熱和熱電信號。a–c在施加正弦波交流電壓(6–10V)時,解調(diào)于二階諧波的焦耳熱二維圖像。d–f在施加方波交流電壓(6–10V)且極性相同時,解調(diào)于一階諧波的熱電(TE)制冷/加熱二維圖像。g在與f圖相同偏壓條件下,TE信號的相位(Φ)圖像,直接顯示在限制區(qū)域中間Φ發(fā)生約180°的突變。h在與f圖相反偏壓極性下的TE制冷/加熱二維圖像。為了展示信號隨電壓的演變,焦耳和TE圖的顏色比例尺被刻意調(diào)整。所有比例尺均為400nm。
為了從檢測到的總熱信號中提取純熱電制冷/加熱信號和焦耳熱信號,對器件施加兩種波形調(diào)制的交流電壓(正弦波和方波)。通過提取方波/正弦波調(diào)制下的一/第二諧波響應,熱電和焦耳信號得以解耦并直接觀測。圖2a–f展示了在不同偏壓下限制區(qū)域周圍的焦耳熱(圖2a–c)和熱電效應(圖2d–f)的空間分布。隨著電壓升高,焦耳熱和熱電信號的強度均單調(diào)增加。焦耳熱的熱點由于縮小結構的高電流密度而被限制在限制區(qū)域內(nèi)。相比之下,熱電制冷/加熱的空間分布在限制區(qū)域的兩側,中間有尖銳的節(jié)點(ΔTTE=0),當電流沿+x方向流動時,左側顯示加熱效應,右側顯示制冷效應。原則上,熱電信號由鎖相幅值R和相位Φ的余弦值相乘得到,因此熱電制冷(負號)/加熱(正號)的符號由Φ決定。圖2g展示了與圖2f相同偏壓條件下的Φ空間分布圖,Φ在限制區(qū)域中間位置發(fā)生約180°的突變,從而直接證明了熱電制冷/加熱符號的變化。當電流方向反轉時,熱電制冷/加熱信號相應交換,表明熱電制冷/加熱效應依賴于電流方向,如圖2h所示。
圖3.實驗數(shù)據(jù)與模擬結果比較。a、b在偏壓為3–10V時,焦耳熱和熱電信號的實驗一維分布。圖2f中的二維熱電圖作為插圖展示,以便與模擬結果進行比較。c焦耳(紅點)和熱電(藍點)信號與電壓(電流)的關系,采用平方(淺紅線)和立方(淺藍線)擬合。誤差條表示從多次SThM測量的標準偏差中提取的ΔTTE的20 mK不確定性。圖中插圖顯示了TE與焦耳比值隨電壓的變化(紫點)。d、e在偏壓為3–10V時,模擬得到的焦耳熱和熱電信號的一維分布。圖e的插圖顯示了模擬得到的10V偏壓下的熱電圖。f模擬的焦耳(紅點)和熱電信號(藍點)與電壓(電流)的關系,采用平方(淺紅線)和立方(淺藍線)擬合。圖中插圖顯示了TE與焦耳比值隨電壓的變化(紫點)。
為了深入理解器件中的熱電傳輸機制,作者從涉及熱電效應的載流結構中通用的熱傳輸公式出發(fā),利用有限元方法進行了三維建模。在10V直流偏壓下模擬得到的Te和TL分布與實驗結果具有相似的非平衡特性,峰值(Te~1596K和 TL~325K)和線形特征與實驗結果吻合。為進一步比較模擬結果與實驗數(shù)據(jù),圖4b繪制了從4V到10V的偏壓增加時的模擬Te分布(彩色曲線)以及實驗結果(彩色點)。模擬的峰值和線形均與實驗數(shù)據(jù)高度一致,從而確保了數(shù)值方法的可靠性。
模擬得到的焦耳熱和熱電制冷/加熱效應結果如圖3d–f所示,可直接與實驗數(shù)據(jù)進行比較。模擬的焦耳熱(圖3d)和熱電信號(圖3e)的熱分布與實驗中的特征一致,包括線形、峰值、制冷與加熱峰之間的距離以及隨偏壓增加的演變。此外,模擬得到的10V偏壓下的二維熱電分布(圖3e的插圖)也顯示出與實驗(圖3b的插圖)類似的輪廓和熱電特性。有趣的是,模擬的焦耳熱和熱電信號(圖3f)清晰地顯示出對偏壓(電流)的平方和立方依賴關系,從而導致TE與焦耳信號的比值隨偏壓線性增加,與實驗結果一致。
圖4.非平衡態(tài)熱電效應中Te調(diào)制的特征。a在電子(上方示意圖)和晶格系統(tǒng)(下方示意圖)內(nèi)/之間的能量流示意圖。b在偏壓為4–10V時,沿通道獲取的實驗測量Te(點)和模擬(實線)Te的一維分布。插圖顯示了從實驗(藍點)和模擬(紅點)中提取的ΔTe(Te-TRoom)的峰值隨電壓(電流)變化關系,并以二次擬合(淺紅線)表示。c當以頻率f的正弦波電流施加于器件時,ΔTe(??Π)以2f頻率振蕩。由于相關性:ΔTTE(??ΠJ)與I3成正比,總熱電信號(ΔTTE)會受到基頻(1f)和三階(3f)諧波的調(diào)制,可通過傅里葉變換分離。d 在Vb=10 V時,通過鎖相技術解調(diào)的一階和三階諧波的熱信號沿通道的一維分布。
圖4a展示了電子系統(tǒng)(上部示意圖)和晶格系統(tǒng)(下部示意圖)內(nèi)的能量流動情況。在非平衡態(tài)下,電子溫度顯著高于晶格溫度,電子在通過納米限制區(qū)域時獲得能量,形成高溫的電子熱點。這些熱電子通過電子-聲子散射將部分能量傳遞給晶格,導致晶格溫度升高,但電子與晶格之間的能量交換不足以使兩者溫度迅速達到平衡。圖4b顯示了在4–10V偏壓下沿通道獲取的電子溫度(Te)的一維分布。實驗測量的Te值以點表示,模擬結果以實線表示。隨著偏壓的增加,Te的峰值顯著升高,表明電子溫度隨偏壓的增加而增加。插圖展示了從實驗(藍點)和模擬(紅點)中提取的ΔTe(Te-TRoom)的峰值隨電壓(電流)變化的關系,并以二次擬合(淺紅線)表示。結果表明,電子溫度的分布與偏壓密切相關,且模擬結果與實驗測量值高度吻合。圖4c解釋了當以頻率f的正弦波電流施加于器件時,ΔTe(與電子溫度梯度相關)以2f頻率振蕩。由于熱電效應與電流的三次方成正比(ΔTTE∝I3),總熱電信號(ΔTTE)會受到基頻(1f)和三階(3f)諧波的調(diào)制。通過傅里葉變換可以分離這些諧波分量。實驗中,通過鎖相技術解調(diào)的一階和三階諧波的熱信號沿通道的一維分布如圖4d所示。結果顯示,三階諧波分量的線形與一階分量相反,且其幅度約為一階分量的三分之一。這種諧波特性直接證明了非平衡態(tài)熱電效應的非線性特征,表明熱電效應的強度隨電流的增加呈三次方增長。
本研究采用Bruker Dimension Icon原子力顯微鏡的SThM模式,在硅納米器件中直接觀測到非平衡態(tài)熱電效應,并通過數(shù)值模擬對其進行了深入分析。研究結果表明,在非平衡態(tài)下,基于電子溫度的Peltier系數(shù)定義能夠準確描述熱電效應,且熱電冷卻/加熱效應呈現(xiàn)出隨電流增加的非線性增強特性。盡管熱電效應的強度相對焦耳熱較小,但其非線性特性為未來芯片冷卻技術的發(fā)展提供了新的思路。這些研究成果不僅加深了對納米尺度熱電效應的理解,也為后摩爾時代納米電子學的熱管理技術發(fā)展奠定了重要的理論和實驗基礎,有望推動高性能、低功耗電子器件的進一步發(fā)展。
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