特點(diǎn)

■大氣壓附近的排氣速度最大為80m3/h，與以往的真空泵相比，排氣時(shí)間可縮短約20%。
■標(biāo)配的專用消音器能解決干式真空泵的噪音問(wèn)題。極限壓力時(shí)的噪音值在61dB（A）以下，
　這是一個(gè)在運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中也不會(huì)打擾到您的噪音等級(jí)（*1)）
■C規(guī)格標(biāo)配的ECO-SHOCK技術(shù)是一種省電的愛(ài)發(fā)科技術(shù)。
　該技術(shù)可將極限壓力下的消耗電量降到0.6kW以下（*2)
■“Model:LS”無(wú)需軸封氣體。以氮?dú)夂涂諝獾鹊呐艢鉃橹鞯那鍧嵐に嚳山档瓦\(yùn)行成本（*3)
■希望進(jìn)一步提高排氣速度的話，建議您搭配機(jī)械增壓泵使用。
　通過(guò)組合使用排氣速度可以達(dá)到120～1200m3/h。

（*1）LS120A-C時(shí)
（*2）C規(guī)格時(shí)
（*3）L規(guī)格還可以使用稀釋氣體。

用途

“Model:LS”有兩種規(guī)格。
首先是面向清潔工藝的規(guī)格。
為內(nèi)置ECO-SHOCK的低功耗型，適于空氣排氣和N2排氣等清潔工藝用途。
具體來(lái)說(shuō)，包括濺射、鍍膜、貼合/load lock室/TMP輔助等。

其次是面向輕工藝的規(guī)格。
具有表面處理和凈化功能，適于水蒸汽和揮發(fā)性藥液排氣等輕工藝用途。
具體來(lái)說(shuō)諸如真空干燥、冷凍干燥、灰化和一般工業(yè)用途等。

規(guī)格

*1：到達(dá)壓力時(shí)
*2：C式樣不可流通Purge gas
*3：Purge gas使用時(shí)的最大水蒸氣處理量
Note)C式樣不可對(duì)應(yīng)無(wú)漏

排氣速度曲線