在半導體、光電子及材料科學研究領域，精密電學與光學測量是研發(fā)和質(zhì)量控制的核心環(huán)節(jié)。

天恒科儀推出的HTM系列通用探針臺，正是為滿足高標準測量需求而設計的高性能平臺。本文將為您深度解析這款產(chǎn)品的核心優(yōu)勢、技術參數(shù)及典型應用場景。

天恒科儀通用探針臺

核心優(yōu)勢

1. 全面兼容，廣泛適用
HTM系列提供三種臺面尺寸（6英寸、8英寸、12英寸），兼容不同尺寸晶圓、芯片及各類材料樣品，滿足從研發(fā)到中小批量測試的多種需求。

2. 高精度光學與電學測量能力
配備180X/500X/1000X多檔光學顯微鏡，支持微米級定位與觀測。同時具備電流低至100飛安（fA） 的測量精度與高達1100GHz的高頻測量能力，兼顧超高靈敏與超寬帶特性。

3. 強大的擴展性與靈活性
針座臺面支持最多10~12個深柱徑探針座，可同時接入多組探針，支持復雜多端測量場景，并兼容紫外、可見光與紅外光波測量，適合光電類器件測試。

4. 高壓高功率支持
支持10kV / 1500A的高壓高電流測試，適用于功率器件、第三代半導體等大功率電子元件的特性分析。

詳細參數(shù)解析

1.電流精度達100fA：適用于半導體漏電流、薄膜器件電特性等高靈敏度測試。

2.頻率覆蓋DC–1100GHz：可進行高頻、微波、太赫茲頻段的S參數(shù)測試，適合5G/6G、射頻元件、毫米波芯片研發(fā)。

3.多波段光波測量：支持紫外到紅外的光譜響應測試，是光電傳感器、太陽能電池、LED等器件性能分析的理想選擇。

天恒科儀通用探針臺

典型應用場景

• 半導體器件測試：包括晶體管、二極管、集成電路的電特性參數(shù)測試。

• 光電與顯示技術：Micro-LED、光電探測器、激光器、顯示面板的光電性能分析。

• 材料科學研究：納米材料、二維材料（如石墨烯）、半導體薄膜的電學與光學性質(zhì)測量。

• 功率電子模塊：SiC、GaN等寬禁帶半導體器件的高壓、大電流、熱特性測試。

• 太赫茲與微波器件：天線、濾波器、諧振器等高頻組件的性能驗證。

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