資料簡介
一、前言
通過侵蝕材料的特性來進(jìn)行雕刻的一種液體。 目前已經(jīng)使用的蝕刻液類型主要有六種類型:酸性氯化 銅、堿性氯化銅、氯化鐵、過硫酸銨、硫酸/鉻酸、硫酸/雙氧水蝕刻液。其中氯化鐵蝕刻液的刻蝕速度主 要受刻蝕溫度、鹽酸含量和鐵離子含量的影響。其中蝕刻液中鹽酸添加量的影響:在蝕刻液中加入鹽酸, 可以抑制FeCl3 水解,并可提高蝕刻速率,尤其是當(dāng)溶銅量達(dá)到 37.4g/L 后,鹽酸的作用更明顯。但是鹽 酸的添加量要適當(dāng),酸度太高,會導(dǎo)致液態(tài)光致抗蝕劑涂層的破壞。本次實驗采用JH-T6全自動電位滴定 儀按照其電位突躍點確定終點,測定其鹽酸的含量,驗證實驗方案的可行性。
二、儀器與試劑
2.1、儀器
JH-T6全自動電位滴定儀,復(fù)合 PH 電極,分析天平等
2.2、試劑
3mol/L KF 溶液,0.1mol/L 氫氧化鈉標(biāo)準(zhǔn)滴定液
三、實驗方法
3.1、實驗過程:
準(zhǔn)確稱取 1g 待測試樣(精確至 0.0001g),依次加入 50mL 去離子水,25mL 3mol/L 的 KF 溶液,混合 均勻,用標(biāo)定好的氫氧化鈉滴定液滴定至電位突越終點,同時做空白試驗,計算鹽酸含量。
3.2、儀器參數(shù)
儀器參數(shù),如表 1 所示:
表 1 滴定儀參數(shù)設(shè)置
滴定類型: | 動態(tài)滴定 | 方法名: | 蝕刻液中鹽酸測定 |
滴定管體積: | 10mL | 樣品計量單位: | g |
工作電極: | 復(fù)合 PH 電極 | 參比電極: | 無 |
攪拌速度: | 7 | 預(yù)攪拌時間: | 5s |
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