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04-13氦離子色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測
氦離子色譜儀是一種針對氣體檢測的高科技儀器設(shè)備,適用于高純氧中H2、Ar、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)或C1-C4等碳氫化合物等氣體中痕量雜質(zhì)的檢測。儀器配備高靈敏度的氦離子化(PDHID)檢測器,采用中心切割與反吹技術(shù),配置具有吹掃保護氣路的進樣切換閥和進口氦氣純化器,通過無死體積取樣或在線進樣方式,一次性完成高純氧氣中H2、Ar、N2、CH4、CO、CO2等常見雜質(zhì)和C1-C4等碳氫化合物的檢測。氦離子色譜儀適用于高純氣體和電子工業(yè)用氣體中痕量雜質(zhì)的檢測,小檢測濃度可達5ppb。儀器2021
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