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掃描電子顯微鏡的性能特點介紹
2020年06月29日 14:34:34 來源：化工儀器網(wǎng) 點擊量：5553

掃描電子顯微鏡類型多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子槍種類可分為三種:場發(fā)射電子槍、鎢絲槍和六硼化鑭。其中，場發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短，需要定時對針尖進(jìn)行清洗，僅局限于單一的圖像觀察，應(yīng)用范圍有限;而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時間長，還能與多

　　【化工儀器網(wǎng) 技術(shù)指導(dǎo)】掃描電子顯微鏡類型多樣，不同類型的掃描電子顯微鏡存在性能上的差異。根據(jù)電子槍種類可分為三種:場發(fā)射電子槍、鎢絲槍和六硼化鑭。其中，場發(fā)射掃描電子顯微鏡根據(jù)光源性能可分為冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡和熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡。冷場發(fā)射掃描電子顯微鏡對真空條件要求高，束流不穩(wěn)定，發(fā)射體使用壽命短，需要定時對針尖進(jìn)行清洗，僅局限于單一的圖像觀察，應(yīng)用范圍有限;而熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡不僅連續(xù)工作時間長，還能與多種附件搭配實現(xiàn)綜合分析。在地質(zhì)領(lǐng)域中，我們不僅需要對樣品進(jìn)行初步形貌觀察，還需要結(jié)合分析儀對樣品的其它性質(zhì)進(jìn)行分析，所以熱場發(fā)射掃描電子顯微鏡的應(yīng)用更為廣泛。
 
　　目前，掃描電子顯微鏡已被廣泛應(yīng)用于生命科學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、司法、地球科學(xué)、材料學(xué)以及工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域的微觀研究，僅在地球科學(xué)方面就包括了結(jié)晶學(xué)、礦物學(xué)、礦床學(xué)、沉積學(xué)、地球化學(xué)、寶石學(xué)、微體古生物、天文地質(zhì)、油氣地質(zhì)、工程地質(zhì)和構(gòu)造地質(zhì)等。
 
　　掃描電鏡雖然是顯微鏡家族中的后起之秀，但由于其本身具有許多優(yōu)點，發(fā)展速度是很快的，掃描電鏡的優(yōu)點有以下幾點：
 
　　1、儀器分辨率較高，通過二次電子象能夠觀察試樣表面6nm左右的細(xì)節(jié)，采用LaB6電子槍，可以進(jìn)一步提高到3nm。
 
　　2、儀器放大倍數(shù)變化范圍大，且能連續(xù)可調(diào)。因此可以根據(jù)需要選擇大小不同的視場進(jìn)行觀察，同時在高放大倍數(shù)下也可獲得一般透射電鏡較難達(dá)到的高亮度的清晰圖像。
 
　　3、觀察樣品的景深大，視場大，圖像富有立體感，可直接觀察起伏較大的粗糙表面和試樣凹凸不平的金屬斷口象等，使人具有親臨微觀世界現(xiàn)場之感。
 
　　4、樣品制備簡單，只要將塊狀或粉末狀的樣品稍加處理或不處理，就可直接放到掃描電鏡中進(jìn)行觀察，因而更接近于物質(zhì)的自然狀態(tài)。
 
　　5、可以通過電子學(xué)方法有效地控制和改善圖像質(zhì)量，如亮度及反差自動保持，試樣傾斜角度校正，圖象旋轉(zhuǎn)，或通過Y調(diào)制改善圖象反差的寬容度，以及圖象各部分亮暗適中。采用雙放大倍數(shù)裝置或圖象選擇器，可在熒光屏上同時觀察放大倍數(shù)不同的圖象。
 
　　6、可進(jìn)行綜合分析。裝上波長色散X射線譜儀(WDX)或能量色散X射線譜儀 (EDX) ，使具有電子探針的功能，也能檢測樣品發(fā)出的反射電子、X射線、陰極熒光、透射電子、俄歇電子等。把掃描電鏡擴(kuò)大應(yīng)用到各種顯微的和微區(qū)的分析方式，顯示出了掃描電鏡的多功能。另外，還可以在觀察形貌圖象的同時，對樣品任選微區(qū)進(jìn)行分析;裝上半導(dǎo)體試樣座附件，通過電動勢象放大器可以直接觀察晶體管或集成電路中的PN結(jié)和微觀缺陷。由于不少掃描電鏡電子探針實現(xiàn)了電子計算機(jī)自動和半自動控制，因而大大提高了定量分析的速度。
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