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PMS助力科百特超凈工藝微污染控制
2021年11月23日 09:24:40 來源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：9604

2021年11月19日，在美麗的杭州蕭山，集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟(以下簡(jiǎn)稱“材料聯(lián)盟”)與杭州科百特過濾器材有限公司(以下簡(jiǎn)稱“科百特”)聯(lián)合成功舉辦了集成電路超凈工藝技術(shù)Workshop。

　　【化工儀器網(wǎng) 廠商動(dòng)態(tài)】

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　　2021年11月19日，在美麗的杭州蕭山，集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟(以下簡(jiǎn)稱“材料聯(lián)盟”)與杭州科百特過濾器材有限公司(以下簡(jiǎn)稱“科百特”)聯(lián)合成功舉辦了集成電路超凈工藝技術(shù)Workshop。
 
　　隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)不斷演進(jìn)，晶圓表面的潔凈要求也越來越嚴(yán)苛。晶圓表面微污染雜質(zhì)是影響芯片良率和芯片產(chǎn)品性能的關(guān)鍵因素。為應(yīng)對(duì)高階工藝對(duì)微污染控制提出的新挑戰(zhàn)和新需求，此次技術(shù)研討會(huì)邀請(qǐng)到了60余位半導(dǎo)體制造、硅材料、光刻膠、高純濕化學(xué)和拋光材料等相關(guān)行業(yè)的技術(shù)專家參會(huì)，共同探討新技術(shù)要求下的潔凈控制。
 
　　會(huì)議上，杭州市蕭山區(qū)政府領(lǐng)導(dǎo)倪世英、集成電路材料產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新聯(lián)盟石瑛秘書長(zhǎng)、科百特CEO Kevin、上海集成電路研究院董事長(zhǎng)俞文杰為大會(huì)做了精彩的致辭。
 
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　　科百特CEO Kevin介紹了科百特專注在膜技術(shù)的發(fā)展，從微孔膜發(fā)展到現(xiàn)在的1nm的納米膜，主要應(yīng)用于兩大產(chǎn)業(yè)——生物制藥和集成電路，生物制藥主要用于除菌過濾，蛋白和病毒的濃縮和分離；在集成電路領(lǐng)域，可用于光刻、清洗、刻蝕和拋光等200多個(gè)工藝點(diǎn)的微污染過濾和純化，最小精度已經(jīng)做到1nm。
 
　　此次會(huì)議特別邀請(qǐng)了武漢新芯集成電路制造有限公司首席運(yùn)營(yíng)官孫鵬、上海華力集成電路制造有限公司先進(jìn)模塊濕法研發(fā)專家李芳科長(zhǎng)、安集微電子科技(上海)股份有限公司應(yīng)用總監(jiān)王勝利和杭州科百特過濾器材有限公司CTO山田善章(Yamada Yoshiaki)做了精彩報(bào)告。
 
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　　11月19日下午，本次參會(huì)的技術(shù)專家參觀了科百特半導(dǎo)體濾芯百級(jí)潔凈車間、7000平技術(shù)驗(yàn)證中心、200L超凈包裝桶和高純化學(xué)品內(nèi)襯設(shè)備制造車間，大家感嘆科百特高速發(fā)展和通過技術(shù)攻克解決進(jìn)口依賴表示高度贊賞，對(duì)科百特半導(dǎo)體的戰(zhàn)略發(fā)展給予積極的評(píng)價(jià)。
 
　　科百特?fù)碛袠I(yè)界領(lǐng)先的半導(dǎo)體濾芯制造技術(shù)，對(duì)微污染監(jiān)測(cè)精度已經(jīng)關(guān)注到20nm的微粒，美國(guó)粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)公司(簡(jiǎn)稱PMS)擁有業(yè)界領(lǐng)先的20nm微粒監(jiān)測(cè)產(chǎn)品和應(yīng)用解決方案，此次大會(huì)中科百特也向半導(dǎo)體行業(yè)領(lǐng)先的高端供應(yīng)商和終端客戶等與會(huì)代表介紹了行業(yè)領(lǐng)先的20nm化學(xué)品粒子監(jiān)測(cè)儀器PMS Chem20。
 
　　化學(xué)品折射率不同將影響粒子計(jì)數(shù)結(jié)果，為了應(yīng)對(duì)不同介質(zhì)并提供更準(zhǔn)確的監(jiān)測(cè)結(jié)果，PMS專門設(shè)計(jì)了兩種型號(hào)的Chem20供客戶選擇：
 
　　Chem 20：適用于折射率較低的化學(xué)品
 
　　Chem 20-HI：適用于硫酸和其他折射指數(shù)較高的化學(xué)品
 
　　Chem 20化學(xué)品粒子計(jì)數(shù)器是一款實(shí)用性很強(qiáng)的工具，在化學(xué)品中的顆粒污染物影響工藝和設(shè)備性能之前，它便能夠快速檢測(cè)化學(xué)品中的顆粒污染物，覆蓋化學(xué)品輸送從裝卸碼頭到生產(chǎn)流程節(jié)點(diǎn)的整個(gè)過程。Chem20在國(guó)際領(lǐng)先的半導(dǎo)體工廠已經(jīng)被廣泛使用并得到了市場(chǎng)的認(rèn)可。
 
關(guān)于PMS
 
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　　美國(guó)粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)公司 (PMS) 是 Spectris plc 旗下子公司，秉承先進(jìn)的全球污染監(jiān)測(cè)技術(shù)，也是激光粒子計(jì)數(shù)的發(fā)明者，現(xiàn)在是專業(yè)的供應(yīng)商，為超潔凈環(huán)境中生產(chǎn)產(chǎn)品的公司提供監(jiān)測(cè)和控制多種污染形式的完整解決方案，幫助其擺脫污染的影響。
 
　　關(guān)于科百特
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　　科百特專注于納米膜材料的研發(fā)和生產(chǎn)，致力于為全球集成電路制造和生物制藥產(chǎn)業(yè)提供創(chuàng)新的過濾純化解決方案。目前員工超過4000名，工程師超過1000名，總部設(shè)在杭州，在上海、北京、中國(guó)臺(tái)灣、日本、韓國(guó)和新加坡的子公司為全球106個(gè)國(guó)家及地區(qū)的20000多家客戶提供服務(wù)。半導(dǎo)體業(yè)務(wù)是科百特最為重要的戰(zhàn)略方向之一，除了過濾產(chǎn)品，科百特在近兩年不斷地拓展半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用的產(chǎn)品線，包括AMC 空氣過濾、脫氣膜、內(nèi)襯設(shè)備、高純化學(xué)品包裝桶、PFA閥件，均可解決卡脖子問題，科百特正在努力朝著全球領(lǐng)先的全流體解決方案供應(yīng)商的方向邁進(jìn)。
 
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