布魯克斯腐蝕性氣體質量流量計

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布魯克斯腐蝕性氣體質量流量計

BROOKS流量計 5850S/5851S/5860S/GF125/GF126
流量范圍 相當于0－3 sccm到0－30 sccm氮氣（N2）的范圍 
性能：校準后為滿量程±1％，大于20slpm時為滿量程±1.5％。 
可重復性：0.25％ 控制范圍：50：1 安裝狀態(tài)靈感度：復零后，比**度誤差不到±0.5％量程。 
溫度敏感度：零點：小于±0.075％量程每攝氏度 
量程：比*初校準刻度小±1.0％量程（在10－50攝氏度） 
壓力敏感度：±0.03％每psi到200psig(N2) 
輸出電壓：0－5伏直流（200K歐姆的輸出電阻） 
輸出信號：輸出0－5伏直流到20歐姆或更高的負荷 輸出5±0.1伏直流（參考），**負荷20歐姆 
*操作壓力：1500psig ;5-50psid壓損（**壓損根據氣體和周圍環(huán)境具體而定） 
溫度、外界/氣體：41－149oF（5－65oC） 
*泄漏，外界：1×10-9cc/s 
功率要求：常閉閥（或常開閥/流量≤2.5slpm） 
直流15伏◎35mA,-15伏@180mA 
常開閥/流量>2.5slpm 
直流15伏◎350Ma,-15伏@350mA 
構造材質： 
標準接液部分采用不銹鋼材質，可供選擇的還有;Kalrez或Buna-N 
連接： 
硬件連接：標準9/16－18UNF不銹鋼壓力接頭(Swagelok)，可選：VCO或VCR 
電氣連接：卡連接器