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EIS-1500 ELIONIX 離子束刻蝕機

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EIS-1500離子束刻蝕機ELIONIX

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上海麥科威半導體技術有限公司(Shanghai Makeway Semiconductor LTD)是一家專業(yè)的微納材料、半導體和微電子材料及器件研發(fā)儀器及設備的供應商,所銷售的儀器設備廣泛用于高校、研究所、以及半導體和微電子領域的高科技企業(yè)。目前總部在上海,香港、南通、深圳、北京分別設立分公司和辦事處,快速響應客戶需求。同時上海麥科威在快速擴展海外市場,并設立新加坡分公司,輻射東南亞市場。

      上海麥科威半導體技術有限公司主要銷售產(chǎn)品包括:  - 霍爾效應測試儀;  - 快速退火爐;  - 回流焊爐,共晶爐,釬焊爐,真空燒結爐;  - 電子束蒸發(fā)鍍膜機,熱蒸發(fā)鍍膜機;  - 探針臺,低溫探針臺,微探針臺;  - 金剛石劃片機; - 球焊機,鍥焊機;  - 磁控濺射鍍膜機;  - 原子層沉積系統(tǒng),等離子增強原子層沉積設備;  - 電化學C-V剖面濃度分析儀(ECV Profiler); - 掃描開爾文探針系統(tǒng); - 光學膜厚儀; -貼片機-PECVD\CVD;-脈沖激光沉積系統(tǒng)-PLD-納米壓?。?等離子清洗機、去膠機;-反應離子刻蝕RIE; - 光刻機、無掩膜光刻機; - 勻膠機; - 熱板,烤膠板; -少子壽命、太陽能模擬器;-NMR-瞬態(tài)能譜儀-外延沉積-等離子清洗機-離子注入-劃片機、裂片機光刻機(針尖/電子束光刻機EBL,紫外光刻機,激光直寫光刻機),鍍膜機(磁控濺射機,電子束蒸發(fā)機,化學沉積機,微波等離子沉積機,原子層沉積機  等等…

企業(yè)客戶:華為技術有限公司, 深圳市鵬芯微集成電路制造, 深圳清力技術, 安徽格恩半導體, 蘇州稀晶半導體科技, 矽品半導體, 廈門海辰新能源科科, 中核同創(chuàng)(成都)科技, 洛瑪瑞芯片技術(常州),偉創(chuàng)力科技, 奧普科星河北科技,廣東五星太陽能,廣東萬和集團,西安西測股份, 普源精電科技, 普源精電科技股份, 上海蔚來汽車, 北京華脈泰科, 廣醫(yī)東金灣高景太陽能科技, 深圳匯佳成電子, 深圳市化訊半導體材料, 珠海珍迎機電, 合肥鼎材科技, 山東金晶節(jié)能玻璃, 江蘇云意電氣股份, 廣東風華技股份, 浙江中能合控股集團,固安維信諾,淮安天合光能,浙江老鷹半導體, 四川信通電子科技等。


科研院所/高等院校: 北京航空航天大學, 汕頭大學, 南方醫(yī)科大學, 清華大學, 北京大學, 復旦大學, 西北工業(yè)大學, 南京醫(yī)科大學, 香港中文大學, 香港城市大學, 蘇州大學, 深圳職業(yè)技術學院, 南京大學合肥國家試驗室, 上海交通大學醫(yī)學院, 華南理工大學,華東師范大學,江南大學,重慶26所, 深圳大學, 南方科技大學, 深圳技術大學, 理化技術研究所, 中國工程物理研究院激光聚變研究中心, 廣東粵港澳大灣區(qū)黃埔材料研究院, 桂林電子科技大學, 上海硅酸鹽研究所, 中國航天五院,中科合肥智慧農(nóng)業(yè)協(xié)同創(chuàng)新研究院等。

 

 

 

 

 

 

 

 

半導體設備,快速退火爐,原子層沉積,鍵合機,光刻機

產(chǎn)品概述:

   離子束刻蝕設備是一種高精度的材料加工設備,它利用經(jīng)過電場加速的高能離子束對樣品表面進行物理轟擊,從而實現(xiàn)材料的精細刻蝕。這種設備廣泛應用于物理學、工程與技術科學基礎學科、測繪科學技術、航空、航天科學技術等多個領域,成為現(xiàn)代微納米加工技術中的重要工具。

設備用途:

  1. 材料加工:離子束刻蝕設備可以對多種材料進行精細加工,包括硅、石英、半導體、金屬、非金屬硬質(zhì)薄膜等。通過控制離子束的能量、束流密度和刻蝕時間等參數(shù),可以精確控制刻蝕深度和形貌,實現(xiàn)微米甚至納米量級的加工精度。

  2. 微結構制作:該設備具有制作微結構圖形的能力,如光柵、微透鏡陣列等。在光學、電子學等領域中,這些微結構對于提高器件性能具有關鍵作用。

  3. 樣品表面處理:離子束刻蝕還可以用于清洗材料表面有機物、氧化物等污染物,提升材料表面的親水性、粘接力和附著力。這對于提高樣品的質(zhì)量和分析精度具有重要意義。

設備特點

 高精度:離子束刻蝕設備能夠實現(xiàn)高精度的材料加工和微結構制作。通過精確控制離子束的參數(shù),可以實現(xiàn)微米甚至納米量級的加工精度。

 多材料適應性:該設備可以處理多種材料,包括硅、石英、半導體、金屬、非金屬硬質(zhì)薄膜等。這種廣泛的材料適應性使得離子束刻蝕設備在多個領域中得到廣泛應用。
  高靈活性:離子束刻蝕設備通常配備有先進的控制系統(tǒng)和樣品臺,可以實現(xiàn)多種加工模式和工藝參數(shù)的靈活調(diào)整。這為用戶提供了更多的選擇和便利。

  高穩(wěn)定性:設備在長時間運行過程中能夠保持較高的穩(wěn)定性和可靠性。這有助于確保加工質(zhì)量和生產(chǎn)效率的穩(wěn)定。
技術參數(shù)和特點:

離子槍

ECR型離子槍

電離氣體

Ar、Xe等、惰性離子種類的氣體

N2、O2、C3F8等、活性離子種類的氣體

加速電壓

300 ~ 2000 V 連續(xù)可變

離子流密度

Ar: 0.16 ~ 0.20 mA/cm2 以上 (700V加速時)

離子束有效直徑

Φ 108 mm

氣體導入機構

自動流量制御6系統(tǒng)

大試樣尺寸

Φ 6英寸晶片



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