HTE-510-EHC 平行光露光裝置
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 桂寧(上海)實驗器材有限公司
- 品牌
- 型號 HTE-510-EHC
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時間 2025/8/14 19:30:03
- 訪問次數(shù) 38
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工件尺寸:150mm x 150mm厚度約0.1~1.0 mm
光學性能:超高壓汞燈1kW(風冷式),波長約300~470nm(主波長365,405,436 nm)
:紫外線照度約40mw/cm^2初始值(@365nm),照度分布90%以上光線平行度:準直半角≤1.5°,偏角≤1.0°
曝光快門:氣動快門打開/關閉方式
曝光量管理:基于積分光度計(管理波長365nm),具有20通道存儲功能
面具(基本):玻璃面具□8英寸厚度3.0毫米或5.0毫米(可更改)
曝光臺:吸附式工作臺,前后可移動,內(nèi)置真空泵
上邊框類型:玻璃掩模專用邊框和聚酯薄膜邊框可供選擇
公用設施:電源3相200V 50/60Hz,斷路器開關30A,10.5 KVA:氣壓約0.5 Mpa
:排氣約8m^3/min
外形尺寸:(W)800mm x(D)1470mm x(H)1915mm
光學性能:超高壓汞燈1kW(風冷式),波長約300~470nm(主波長365,405,436 nm)
:紫外線照度約40mw/cm^2初始值(@365nm),照度分布90%以上光線平行度:準直半角≤1.5°,偏角≤1.0°
曝光快門:氣動快門打開/關閉方式
曝光量管理:基于積分光度計(管理波長365nm),具有20通道存儲功能
面具(基本):玻璃面具□8英寸厚度3.0毫米或5.0毫米(可更改)
曝光臺:吸附式工作臺,前后可移動,內(nèi)置真空泵
上邊框類型:玻璃掩模專用邊框和聚酯薄膜邊框可供選擇
公用設施:電源3相200V 50/60Hz,斷路器開關30A,10.5 KVA:氣壓約0.5 Mpa
:排氣約8m^3/min
外形尺寸:(W)800mm x(D)1470mm x(H)1915mm