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honeywell氣流傳感器
有的氣流傳感器都是依靠傳熱流量和壓??差來操作的。硅芯片設(shè)計由薄膜隔熱橋結(jié)構(gòu)構(gòu)成，包含加熱器和溫度感應(yīng)元件。這提供了對空氣或氣體流量以及量和方向的快速響應(yīng)，從而提供成比例的輸出電壓。放大版本提供增強的輸出信號和更少的外部電路，而未放大的版本允許額外的外部電路選項。
霍尼韋爾提供：
*芯片設(shè)計，制造技術(shù)和微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)
增強的響應(yīng)時間和低功耗
各種端口類型提供了更大的應(yīng)用靈活性
概觀
包含增強傳感器輸出信號的附加電子元件。
按類型瀏覽放大型氣流傳感器可分為：

霍尼韋爾Zephyr?HAF系列 - 高精度±50 SCCM至±750 SCCM
霍尼韋爾（中國）Zephyr?HAF系列傳感器提供了一個數(shù)字接口，用于在的滿量程流量和補償溫度范圍內(nèi)讀取氣流。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助這些傳感器對空氣或氣體流動提供快速響應(yīng)。
Zephyr傳感器設(shè)計用于測量空氣和其他非腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍有±50，±100，±200，±400或±750 SCCM。自定義流量范圍也是可用的。傳感器通過板載集成電路（ASIC）進(jìn)行*校準(zhǔn)和溫度補償。
HAF系列可在0°C至50°C（32°F至122°F）的溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補償，并可在-20°C至70°C（-4°F至158°F ]。的基于ASIC的補償功能可提供數(shù)字（I 2 C）輸出，響應(yīng)時間為1 ms。
這些傳感器根據(jù)傳熱原理來測量質(zhì)量氣流。它們由微晶硅微電子和微機電系統(tǒng)（MEMS）組成，溫敏電阻沉積有鉑和氮化硅薄膜。MEMS傳感芯片位于且精心設(shè)計的氣流通道內(nèi)，以提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。
Zephyr傳感器為客戶提供增強的可靠性，高精度，可重復(fù)的測量以及定制傳感器選項以滿足許多特定應(yīng)用需求的能力。堅固的外殼與穩(wěn)定的基材組合使這些產(chǎn)品非常堅固。它們根據(jù)ISO 9001標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計和制造。

霍尼韋爾Zephyr?HAF系列 - 高精度10 SLPM至300 SLPM
概觀
霍尼韋爾（中國）Zephyr?HAF系列傳感器提供了一個數(shù)字接口，用于在的滿量程流量和補償溫度范圍內(nèi)讀取氣流。隔熱加熱器和溫度感應(yīng)元件可幫助這些傳感器對空氣或氣體流動提供快速響應(yīng)。
Zephyr傳感器設(shè)計用于測量空氣和其他非腐蝕性氣體的質(zhì)量流量。標(biāo)準(zhǔn)流量范圍為10 SLPM，15 SLPM，20 SLPM，50 SLPM，100 SLPM，200 SLPM或300 SLPM，并提供定制流量范圍。傳感器通過板載集成電路（ASIC）進(jìn)行*校準(zhǔn)和溫度補償。
HAF系列> 10 SLPM在0°C至50°C [32°F至122°F]的校準(zhǔn)溫度范圍內(nèi)進(jìn)行補償?；贏SIC的補償功能可提供數(shù)字（I 2 C）輸出，響應(yīng)時間為1 ms。
這些傳感器根據(jù)傳熱原理來測量質(zhì)量氣流。它們由微晶硅微電子和微機電系統(tǒng)（MEMS）組成，溫敏電阻沉積有鉑和氮化硅薄膜。MEMS傳感芯片位于且精心設(shè)計的氣流通道內(nèi)，以提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。
Zephyr傳感器為客戶提供增強的可靠性，高精度，可重復(fù)的測量以及定制傳感器選項以滿足許多特定應(yīng)用需求的能力。堅固的外殼與穩(wěn)定的基材組合使這些產(chǎn)品非常堅固。它們根據(jù)ISO 9001標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計和制造。

AWM3000系列
和AWM2000系列一樣，雙惠斯通電橋控制氣流測量。AWM3000系列被放大; 因此，它可以用來增加增益并為傳感器輸出引入電壓偏移。加熱器控制電路和感測電橋供電電路在包裝上。
小心：產(chǎn)品損壞
AWM系列Microbridge質(zhì)量型氣流傳感器不能用于檢測液體流量，并且會因流經(jīng)傳感器的液體而受損。
不遵守這些說明可能會導(dǎo)致產(chǎn)品損壞。

AWM5000系列
在線流量測量
AWM5000系列Microbridge質(zhì)量型空氣流量傳感器配有文丘里型流量外殼。他們測量的流量高達(dá)每分鐘20標(biāo)準(zhǔn)升（SLPM），同時引起2.25“H 2 O的zui大壓降。微橋芯片直接與流體接觸，大大減少了由于孔口或旁通通道堵塞。
堅固耐用的多功能包裝
堅固耐用的塑料包裝設(shè)計可承受高達(dá)50 psi的共模壓力，而小型傳感元件可承受100 g的沖擊而不影響性能。隨附的“AMP”兼容連接器可在苛刻的應(yīng)用中提供可靠的連接。
板載信號調(diào)理
每個AWM5000傳感器都包含執(zhí)行放大，線性化，溫度補償和氣體校準(zhǔn)的電路。無論流量范圍（5,10,15或20 SLPM）還是校準(zhǔn)氣體（氮氣，二氧化碳，氧化亞氮或氬氣），所有清單都可以使用1至5 Vdc線性輸出。所有校準(zhǔn)均由主動式激光器執(zhí)行。
小心：產(chǎn)品損壞
AWM系列Microbridge質(zhì)量型氣流傳感器不能用于檢測液體流量，并且會因流經(jīng)傳感器的液體而受損。 

AWM700系列
AWM700系列微型大流量氣體流量傳感器提供在線流量測量，并配有專門設(shè)計的旁路流量外殼。傳感器測量的流量高達(dá)200標(biāo)準(zhǔn)升每分鐘（SLPM），同時通常導(dǎo)致1英寸水柱的壓降。AWM700在小型封裝中具有高流量范圍功能。傳感器的響應(yīng)時間為6毫秒，需要10 Vdc電源，但功耗僅為60 mW。緊湊的塑料包裝可承受25 psi的超壓而不影響性能。嵌入式AMP兼容連接器提供可靠的連接。該傳感器也非常適用于便攜式設(shè)備和電池供電應(yīng)用。AWM700系列傳感器結(jié)合了久經(jīng)考驗的可靠性，高精度，以及用于醫(yī)療通風(fēng)市場和醫(yī)療和分析儀器應(yīng)用的操作特性。其壽命的準(zhǔn)確性減少了重新校準(zhǔn)的需要。AWM700傳感器電路執(zhí)行放大和溫度補償。
小心：產(chǎn)品損壞
AWM系列Microbridge質(zhì)量型氣流傳感器不能用于檢測液體流量，并且會因流經(jīng)傳感器的液體而受損。 

AWM40000系列
概觀
手術(shù)
微橋空氣質(zhì)量流量傳感器根據(jù)傳熱理論進(jìn)行工作。質(zhì)量氣流被引導(dǎo)穿過感測元件的表面。輸出電壓與通過封裝的入口端口和出口端口的質(zhì)量空氣或其他氣體流量成比例變化。專門設(shè)計的外殼地指導(dǎo)并控制穿過微結(jié)構(gòu)傳感元件的氣流。封裝的機械設(shè)計使其可以方便地安裝到印刷電路板上。
微橋空氣質(zhì)量流量傳感器采用*微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)，具有*的硅芯片。它由包含加熱器和溫度感測元件的薄膜隔熱橋結(jié)構(gòu)組成。橋結(jié)構(gòu)對芯片上空氣或其他氣體的流動提供了靈敏而快速的響應(yīng)。位于中央加熱元件兩側(cè)的雙感測元件指示流動方向和流速。激光微調(diào)厚膜和薄膜電阻器提供從一個設(shè)備到下一個設(shè)備的一致互換性。
微橋空氣質(zhì)量流量傳感器使用沉積在氮化硅薄膜內(nèi)的溫度敏感電阻器。它們以兩個橋的形式懸浮在硅的蝕刻腔中。芯片位于尺寸的氣流通道中，以提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。通過蝕刻流量傳感器橋下方的腔體空間來獲得對加熱器和感測電阻器的高度有效的熱絕緣。微橋傳感器質(zhì)量流量傳感器的小尺寸和隔熱性能是對流量響應(yīng)速度極快，靈敏度高的原因。
雙惠斯通電橋控制氣流測量 - 一個提供閉環(huán)加熱器控制，另一個包含雙傳感元件。通過提供與質(zhì)量流量成比例的輸出，加熱器電路使由于環(huán)境溫度變化而引起的移位zui小化。該電路使加熱器溫度保持在高于環(huán)境空氣溫度的恒定差分（160°C），該溫度由芯片上的熱沉電阻器感測。器件的比例電壓輸出對應(yīng)惠斯通電橋電路的差分電壓。
注意
可以將由于某些應(yīng)用而導(dǎo)致的灰塵污染的影響降至zui低。通過設(shè)計，可能存在于氣流中的塵粒將平行于芯片表面流過芯片。另外，微結(jié)構(gòu)芯片產(chǎn)生熱泳效應(yīng)，從橋結(jié)構(gòu)排斥微米級的塵埃顆粒。
一個簡單的過濾器將防止灰塵粘附到切屑邊緣和通道表面。在氣流裝置的上游側(cè)使用一次性使用的五微米過濾器，可以在大多數(shù)應(yīng)用中實現(xiàn)充分的過濾。
小心：產(chǎn)品損壞
AWM系列Microbridge質(zhì)量型氣流傳感器不能用于檢測液體流量，并且會因流經(jīng)傳感器的液體而受損。
不遵守這些說明可能會導(dǎo)致產(chǎn)品損壞。