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橢圓偏振測厚儀 偏振測厚儀 測厚儀 型號:TP-TPY-1
在近代的許多域中對各種薄膜的研究和應(yīng)用日益廣泛。因此,更加和迅速的測定給定薄膜的光學(xué)參數(shù)已變得更加迫切和重要。在實際作中可以利用各種傳統(tǒng)的方法測定光學(xué)參數(shù),如:布儒斯角法測介質(zhì)膜的折射率,干涉法測膜厚,其它測膜厚的方法還有稱重法、X射線法、電容法、橢偏法等。由于橢圓偏振法具有靈敏度、度、非破壞性測量等優(yōu)點,因而,橢圓偏振法測量已在光學(xué)、半導(dǎo)體、生物、學(xué)等諸多域得到廣泛應(yīng)用。
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