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瑞士VAT-14.0系列真空閥 - 高真空閘閥14.0 高真空閘閥系列旨在于標(biāo)準(zhǔn)高循環(huán)真空工藝中提 供可靠的隔離。該系列滿足耐用性、模塊性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求,...
瑞士VAT-08.2 - 可嵌入閘閥系列08.2可嵌入閘閥旨在不使用法蘭直接安裝在兩根相連的管道之間。優(yōu)點:所需空間非常小。
瑞士VAT-08.1 - 可嵌入閘閥系列08.1 可嵌入閘閥旨在不使用法蘭直接安裝在兩根相連的管道之間。優(yōu)點:所需空間非常小。
瑞士VAT-01.2 - 小型閘閥/通用隔離閥01.2 小型閘閥系列采用 VAT 的 VATLOCK 技術(shù),該技術(shù)旨在提供可靠的閥板密封,同時不會在閥板密封處產(chǎn)...
瑞士VAT閥快速關(guān)閉/梁式止動閥快速關(guān)閉/梁式止動閥一類特殊的保護(hù)閥,在發(fā)生泄漏時,可以防止不受控制的壓力上升或污染的氣體流入工藝區(qū)。擋束閥允許快速中斷加速器系...
瑞士VAT閥22.0 隔膜閥22.0 隔膜閥氣體和液體的多功能解決方案22.0 隔膜閥基于隔膜原理,具有高導(dǎo)電性,機(jī)械部件與介質(zhì)隔離。它配有耐用的氟橡膠隔膜,可...
瑞士VAT閥21.1 氣體計量閥21.1 氣體計量閥真空室的受控、可再現(xiàn)氣流引入
瑞士VAT閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥59.0 超高真空全金屬可變泄漏閥滿足超高真空要求
瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥(三/雙向型)25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中,例如次晶圓廠工藝。該系列有角度...
瑞士VAT閥VAT 24.5 內(nèi)聯(lián)閥角閥的關(guān)鍵性能指標(biāo)是可靠性與可變性。24.5 內(nèi)聯(lián)閥系列結(jié)合了可靠性和可變性。該系列旨在針對高污染甚至輕微污染的氣流實現(xiàn)大尺...
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