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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司>>瑞士VAT>>閥>> 瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KAAF-0001
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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KAAF-0001

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  • 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
  • 2025-07-17 10:25:54
  • 上海市
  • 德國(guó)
  • 1907

我要詢價(jià) 具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

【簡(jiǎn)單介紹】

應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合
瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KAAF-0001
產(chǎn)品基本規(guī)格
型號(hào)：61332-KAAF-0001

類型：高真空蝶形控制閥

制造商：VAT Group（瑞士）

系列：61系列高溫應(yīng)用閥門

【詳細(xì)說(shuō)明】

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KAAF-0001

VAT高真空蝶形控制閥61332-KAAF-0001詳細(xì)技術(shù)解析

產(chǎn)品基本規(guī)格

  • 型號(hào)：61332-KAAF-0001

  • 類型：高真空蝶形控制閥

  • 制造商：VAT Group（瑞士）

  • 系列：61系列高溫應(yīng)用閥門

關(guān)鍵性能參數(shù)

  1. 真空范圍：

    • 工作壓力：10?? mbar至大氣壓

    • 漏率：<1×10?? mbar·l/s（金屬密封）

  2. 溫度特性：

    • 標(biāo)準(zhǔn)工作溫度：-20°C至+150°C

    • 高溫版本可選：最高可達(dá)+250°C

    • 烘烤溫度：最高+150°C（持續(xù)）

  3. 機(jī)械特性：

    • 標(biāo)準(zhǔn)：氟橡膠(FKM)

    • 可選：全金屬密封(適用于高溫/腐蝕環(huán)境)

    • 閥體材料：不銹鋼316L

    • 密封材料：

    • 法蘭標(biāo)準(zhǔn)：ISO-KF、CF或客戶定制

  4. 控制特性：

    • 控制方式：氣動(dòng)執(zhí)行（標(biāo)準(zhǔn)）

    • 響應(yīng)時(shí)間：<100ms（全開(kāi)至全關(guān)）

    • 位置反饋：可選模擬量(0-10V)或數(shù)字信號(hào)

半導(dǎo)體行業(yè)典型應(yīng)用

  1. 刻蝕設(shè)備：

    • 用于Cl?、HBr等腐蝕性氣體環(huán)境

    • 在等離子體刻蝕腔室的真空隔離

  2. 薄膜沉積系統(tǒng)：

    • CVD/PVD設(shè)備的真空維持

    • ALD系統(tǒng)的快速氣體切換

  3. 離子注入機(jī)：

    • 束線隔離與真空分段控制

  4. 晶圓傳輸系統(tǒng)：

    • 負(fù)載鎖(Loadlock)的快速抽真空控制

替代型號(hào)參考

特性61332-KAAF-0001VAT 47.1VAT 54.1
類型蝶形控制閥直通閥角閥
速度超快(<100ms)快(200ms)中等(500ms)
密封金屬/彈性體彈性體金屬
溫度高溫可選標(biāo)準(zhǔn)高溫可選
適用動(dòng)態(tài)流量控制隔離隔離

維護(hù)與使用注意事項(xiàng)

  1. 安裝要求：

    • 需使用專用安裝夾具避免閥體變形

    • 法蘭連接需使用高純度無(wú)塵密封圈

  2. 操作規(guī)范：

    • 使用前需進(jìn)行至少3次空載開(kāi)閉測(cè)試

    • 系統(tǒng)抽真建議手動(dòng)預(yù)關(guān)閉閥門

  3. 維護(hù)周期：

    • 常規(guī)維護(hù)：每6個(gè)月檢查密封性

    • 全面檢修：每50萬(wàn)次循環(huán)或2年（以先到為準(zhǔn)）

  4. 故障排查：

    • 常見(jiàn)問(wèn)題：響應(yīng)延遲（檢查氣源壓力）

    • 漏率增大（檢查密封面清潔度）

    • 常供型號(hào)：

    • 商品編號(hào)61328-KACN-0001

    • 商品編號(hào)61344-PACF-0001

    • 商品編號(hào)61332-KECN-0001

    • 商品編號(hào)61328-KAAQ-0001

    • 商品編號(hào)61344-PECF-0001

      商品編號(hào)61332-KACN-0001

    • 商品編號(hào)61328-KEAQ-0001

    • 商品編號(hào)61344-PECQ-0001

    • 商品編號(hào)61328-KAAF-0001

    • 商品編號(hào)61348-PAGH-0001

    • 商品編號(hào)61332-KAGH-0001

    • 商品編號(hào)61328-KEAF-0001

    • 商品編號(hào)61328-KECN-0001

    • 商品編號(hào)61332-KEGH-0001

    • 商品編號(hào)61338-PAGE-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61332-KAAF-0001

    
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