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應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

反射率＞95%，入射角度45°，表面質(zhì)量10-5，低損耗的193反射鏡

西格瑪光機(jī)PSMH系列和TFMHP系列193nm反射鏡。日本Optosigma的強(qiáng)激光用電介質(zhì)膜反射鏡TFMHP系列193反射鏡是適用于高功率，脈沖Nd-YAG激光（或Yb-YLF激光）或準(zhǔn)分子激光的光學(xué)系統(tǒng)的反射鏡。193nm ArF反射鏡根據(jù)外徑劃分成三種型號(hào)：TFMHP-25.4C05-193、TFMHP-30C05-193和TFMHP-50C08-193。193nm準(zhǔn)分子反射鏡的反射率高，可以達(dá)到95%以上，經(jīng)過多個(gè)反射鏡反射后，光量也不會(huì)衰減很多。此外，TFMHP系列193反射鏡的鍍膜使用吸收小的電介質(zhì)膜，可以承受大功率激光的連續(xù)照射，激光損傷閾值2 J/cm²。

多層電介質(zhì)膜平板半反射鏡193反射鏡是用于紫外激光或YAG激光的PSMH系列193nm半反射鏡。西格瑪光機(jī)的PSMH系列193nm半反射鏡一共有4款，PSMH-30C03-10-193，PSMH-30C05-10-193，PSMH-30C05/08-10W-193和PSMH-30C08-10W-193。這些193反射鏡正面有多層電介質(zhì)膜，反面有防反射膜，幾乎沒有光量的損失，有不使光束產(chǎn)生變形的平行平面型，和因反面反射產(chǎn)生鬼影或干涉的影響很少的楔型兩種。多層電介質(zhì)膜平板半反射鏡由于是平板型半反射鏡，透過基板時(shí)產(chǎn)生的波長分散或色差很小，重量也可以減輕。

西格瑪光機(jī)PSMH系列和TFMHP系列193nm反射鏡

西格瑪光機(jī)PSMH系列和TFMHP系列193nm反射鏡的指標(biāo)：

類型	PSMH系列193nm半反射鏡	TFMHP系列193反射鏡
材質(zhì)	BK7 合成石英 CaF₂	BK7
基板面型精度	λ/10	λ/10
鍍膜	正面：多層電介質(zhì)膜反面：防反射膜	多層電介質(zhì)膜
入射角度	45°	45°±3°
平行度	——	＜3′
分束比（反射：透射）	１：１	——
表面質(zhì)量	10-5	10-5
有效直徑	外徑的90％	外徑的90％
反面	——	拋光面

193nm準(zhǔn)分子反射鏡/193nm ArF反射鏡的參數(shù)指標(biāo)：

型號(hào)	外徑mm	厚度mm	材質(zhì)	平行度楔形角	反射率R 透過率T （P偏光和S偏光的平均值）	激光損傷閾值〔J/cm2〕
PSMH-30C03-10-193	φ30	3	合成石英	＜5″	T＝45±5	1
PSMH-30C05-10W-193	φ30	5	合成石英	1°±5′	T＝45±5	1
PSMH-50C05-10-193	φ50	5	合成石英	＜5″	T＝45±5	1
PSMH-50C08-10W-193	φ50	8	合成石英	1°±5′	T＝45±5	1
TFMHP-25.4C05-193	φ25.4	5	BK7	—	反射率＞95%	2
TFMHP-30C05-193	φ30	5	BK7	—	反射率＞95%	2
TFMHP-50C08-193	φ50	8	BK7	—	反射率＞95%	2