瑞士VAT-77.1 - 超高真空快速關(guān)閉擋板 快速、可靠的超高真空和高真空系統(tǒng)保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)對(duì)快速關(guān)閉擋板的主要要求是快速反應(yīng)以及在空氣涌入的情況下保持可靠。因空氣涌入造成的超高真空或高真空環(huán)境的損失(尤其是加速器或儲(chǔ)存環(huán)等大體量的損失),可能造成污染、組件損壞等嚴(yán)重問(wèn)題,并且需投入精力恢復(fù)所需真空水平。 77.1 超高真空快速關(guān)閉擋板在壓力上升時(shí)具有快速的關(guān)閉反應(yīng),可保護(hù)真空水平。該系列可在 10 毫秒內(nèi)(具體取決于擋板直徑)以極快的速度關(guān)閉真空線。關(guān)閉擋板會(huì)幾乎立即將空氣涌入減少至 mbar l/s 級(jí)別。這為啟動(dòng)全金屬閥門留了時(shí)間,全金屬閥門用于殘留泄漏的密封。防止損壞是分秒必爭(zhēng)的,因此,77.1 系列為系統(tǒng)保護(hù)設(shè)定了標(biāo)準(zhǔn)。 77.1 系列為轉(zhuǎn)動(dòng)擋板 (DN 63-160),采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式。閥體的標(biāo)準(zhǔn)烘烤溫度為最高 300℃,驅(qū)動(dòng)器為最高 50℃。閥蓋為金屬密封,饋通件以焊接金屬波紋管密封。 快速關(guān)閉閘板由獨(dú)立的控制器控制。該控制器通過(guò)定期檢查系統(tǒng)的就緒狀態(tài)、傳感器及其連接來(lái)確保快速關(guān)閉。控制器采用模塊化設(shè)計(jì),可針對(duì)不同的擋板/傳感器布置進(jìn)行配置。檢測(cè)到空氣涌入時(shí),控制器啟動(dòng),同時(shí)快速關(guān)閉擋板也會(huì)啟動(dòng),這是一個(gè)在超高真空高真空條件下密封的全金屬閥門??焖訇P(guān)閉擋板的狀態(tài)同樣通過(guò)該控制器提供,以便進(jìn)行遠(yuǎn)程輸出。同理,擋板也可以通過(guò)控制器的界面進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。 經(jīng)證明,77.1 超高真空快速關(guān)閉擋板系列可在各種工藝條件下的加速器和儲(chǔ)存環(huán)設(shè)施中提供可靠性能,成為了超高真空和高真空系統(tǒng)可靠保護(hù)的標(biāo)準(zhǔn)。 77.1 超高真空快速關(guān)閉擋板的閥體材料為不銹鋼。標(biāo)準(zhǔn)法蘭連接器為 CF-F??蛻糁付ǚㄌm和特定槽尺寸可選。 該系列閥體的輻射抗性為 108 Gy,氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的輻射抗性為 104 Gy。 轉(zhuǎn)動(dòng)擋板的維護(hù)前標(biāo)準(zhǔn)時(shí)間為 2000 次開關(guān),槽擋板為 5000 次開關(guān),這意味著該閥門系列在用于其目的時(shí)實(shí)際是免維護(hù)的。77.1 超高真空快速關(guān)閉擋板通常與全金屬閥門結(jié)合使用。 特點(diǎn):
優(yōu)勢(shì):
技術(shù)成熟 實(shí)際免維護(hù) 擁有成本較低
技術(shù)參數(shù):
尺寸 |
| DN 63 (2?"), DN 100 (4"), DN 160 (6") |
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驅(qū)動(dòng)器 | 氣動(dòng) | 雙作用 |
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閥體材料 |
| 不銹鋼 |
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饋通件 |
| 波紋管 |
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標(biāo)注法蘭 |
| CF-F |
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泄漏率 | 閥體 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 |
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| 閥座 | < 30 mbar ls-1 |
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壓力范圍 |
| 超高真空至 1.2 bar(絕對(duì)壓強(qiáng)) |
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維護(hù)前開關(guān)次數(shù) | 開槽擋板 轉(zhuǎn)動(dòng)擋板 | 5000次 2000次 |
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烘烤溫度 | 閥體 | ≤ 300°C |
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| 驅(qū)動(dòng)器 | ≤ 50 °C |
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輻射抗性 | 閥體 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器 | 108 Gy 104 Gy |
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材料 | 閥體 | AISI 316L (1.4435, 1.4404) |
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| 機(jī)構(gòu) | AISI 316L (1.4435) |
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| 閥板 | AISI 316L (1.4404)、鍍銀(開槽擋板) 鈦(轉(zhuǎn)動(dòng)擋板) |
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| 波紋管 | AISI 633 (AM 350)(開槽擋板) AISI 316L (1.4404)(轉(zhuǎn)動(dòng)擋板) |
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密封 | 閥蓋 | 金屬 |
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安裝位置 |
| 閥座側(cè)(帶標(biāo)記) 與氣流涌動(dòng)方向相反 |
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商品編號(hào)77140-CE44商品編號(hào)77136-CE44商品編號(hào)77144-CE44 瑞士VAT-77.1 - 超高真空快速關(guān)閉擋板 |