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上海申思特自動化設備有限公司
主營產(chǎn)品： 美國E E傳感器,美國E E減壓閥,意大利ATOS阿托斯油缸,丹麥GRAS麥克風,丹麥GRAS人工頭, ASCO電磁閥,IFM易福門傳感器 |
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2017-7-12 閱讀(1003)
Leybold萊寶TR211真空規(guī)管上海辦事處
- 熱電阻真空規(guī)(皮拉尼規(guī)) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S/TR211
- 冷陰極電離真空規(guī)(潘寧規(guī)) PTR225
- 薄膜電容規(guī) CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼復合規(guī) TTR100/TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復合規(guī) PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復合規(guī) ITR90
- 便攜式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空儀表
按真空度刻度方法分類 (1)真空計：直接讀取氣體壓力，其壓力響應(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關(guān)，屬于真空計的有U型鎊壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。
(2)相對真空計：由一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力，不能通過簡單的計算進刻度，必須進行校準才能刻度。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計的種類很多，如熱傳導真空計和電離真空計等。 按真空計測量原理分類 直接測量真空計 這種真空計直接測量單位面積上的力，有: (1)靜態(tài)液位真空計：利用U型管兩端液面差來測量壓力。 (2)彈性元件真空計：利用與真空相連的容器表面受到壓力的作用而產(chǎn)生彈性變形來測量壓力值的大小。 間接測量真空計 壓力為10-1Pa時，作用在1cm2表面上力只有10-5N，顯然測量這樣小的力是困難的。但可根據(jù)低壓下與氣體壓力有關(guān)的物理量的變化來間接測量壓力的變化。屬于這類的真空計有： (1)壓縮式真空計：其原理是在U型管的基礎上再應用波義耳定律，即將一定量待測壓力的氣體，經(jīng)過等溫壓縮
真空計可分為真空計和相對真空計兩大類。凡能從其本身測得的物理量(如液柱高度、工作液、比重等)直接計算出氣體壓力的稱真空計，這種真空計測量精度較高，主要用作基準量具。相對真空計主要利用氣體在低壓力下的某些物理特性(如熱傳導、電離、粘滯性和應變等)與壓力的關(guān)系間接測量，其測量精度較低，而且測量結(jié)果還與被測氣體種類和成分有關(guān)。因此相對真空計必須用真空計標定和校準后方能用作真空測量。但它能直接讀出被測壓力，使用方便，在實際應用中占絕大多數(shù)。真空技術(shù)需要測量的壓力范圍為105～10-11帕，甚至更小,寬達16個數(shù)量級以上,尚無一種真空計能適用于從粗真空(105～102帕)、低真空(102～10-1帕)、高真空(10-1～10-5帕)、超高真空(小于10-5帕)到*真空(小于10-10帕)的全范圍測量,因而有多種真空計。zui常用的有U形管真空計、壓縮式真空計、電阻真空計和冷熱陰極電離真空計。
U形管真空計用以測量粗真空和低真空的真空計(圖1)。在U字形的玻璃管中充以工作液(低蒸氣壓的油、汞)。管的一端被抽成真空(或直接通大氣)，另一端接被測真空系統(tǒng)。根據(jù)兩邊管中的壓差所造成的液柱差可測出被測真空系統(tǒng)的壓力。壓縮式真空計又稱麥克勞真空計，是一種測量低真空和高真空的真空計。這種真空計一般用硬質(zhì)玻璃制成(圖2a)。A是一根與被測真空系統(tǒng)相連接的開管，D、B為內(nèi)徑相同的毛細管，V為球泡,其體積遠大于毛細管。測量時，通過活塞2抽真空，然后用活塞1充氣,使汞儲存器C中的汞上升到覆沒交叉口ΜΜ′，則D、V和B、A內(nèi)的氣體被隔成兩個區(qū)域。再充氣繼續(xù)提高汞液面,D、V內(nèi)的氣體則進一步被壓縮，壓力增高。這樣D、B間存在的壓差可由汞柱高度差來表示(圖2b)。玻璃容器的體積和毛細管的高度是可測出的，所以用玻意耳定律即可算出被測壓力。測量精度較高,在10-3帕時的精度小于或等于5％。電阻真空計又稱皮喇尼真空計，是一種測量低真空的相對真空計，主要由電阻式規(guī)管和測量線路兩部分組成。電阻式規(guī)管(圖3)是在管殼內(nèi)封裝著一條電阻溫度系數(shù)較大的電阻絲，常用的為鎢或鉑絲。測量時，規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相接，用一定的電壓、電流加熱電阻絲，其表面溫度可用電阻值來反映，且與周圍的氣體分子的熱傳導有關(guān)，而氣體分子的熱傳導又與壓力有關(guān)。當被測壓力降低時，由氣體分子傳走的熱量減小，電阻絲表面溫度就增高，電阻值增大；反之，電阻值減小。因此根據(jù)電阻值的大小就可測量出壓力。熱陰極電離真空計通稱電離真空計，主要用于高真空測量。它是由圓筒式熱陰極電離規(guī)管(圖4)和測量線路兩部分組成。這種規(guī)管與三極電子管相似，有3個電極：陰極(燈絲)、螺旋形柵極(加速極)和圓筒形收集極。測量時，規(guī)管與被測真空系統(tǒng)相連。通電后，熱陰極發(fā)射電子，在飛向帶正電位的加速極的路程中與管內(nèi)空間的低壓氣體分子碰撞,使氣體分子電離。電離所產(chǎn)生的電子和離子,分別在加速極和收集極(帶負電位)上形成電子流Ie和離子流Ii。在被測氣體壓力低于10-1帕的狀況下,當電子流Ie恒定時，離子流Ii與被測真空系統(tǒng)中的氣體分子密度(亦即壓力p)成正比。因此,離子流的大小就可作為壓力的度量。這種真空計的測量范圍為10-1～10-5帕。此外,還有測量上限能達102帕以上的高壓力電離真空計
各種間接測量的數(shù)顯真空規(guī)，它們是：
分類原理介紹
按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學性能、利用氣體動力學效應和利用帶電粒子效應的真空計。
利用力學性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學效應的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。
波爾登規(guī)
如右圖所示，細的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應的氣壓值。
這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。
歐瑞康萊寶公司作為全系列的真空設備供應商，擁有應用各種工作原理的真空計，其測量范圍從1000毫巴到10-12毫巴，覆蓋了15個數(shù)量級，可以滿足各種真空工藝的要求。歐瑞康萊寶的真空計家族包括：
- 用于測量粗真空的各種工作原理的機械指針式真空表。
- 各種間接測量的數(shù)顯真空規(guī)，它們是：
- 熱電阻真空規(guī)(皮拉尼規(guī)) TTR91/TTR91S/TTR96/TTR96S
- 冷陰極電離真空規(guī)(潘寧規(guī)) PTR225
- 薄膜電容規(guī) CTR100/CTR91
- 薄膜/皮拉尼復合規(guī) TTR100/TTR100S
- 冷陰極電離/皮拉尼復合規(guī) PTR90
- 熱陰極電離/皮拉尼復合規(guī) ITR90
- 便攜式真空表TM90/TM100
- 新型Center和Display系列真空儀表
德國萊寶真空計|萊寶真空規(guī)管TR211準確、輕便的Center和Display系列真空儀表顯示范圍從1000毫巴到10-10毫巴，具有數(shù)顯液晶顯示器，可快速、直觀、地反映真空系統(tǒng)的狀態(tài)。數(shù)顯讀數(shù)可以用毫巴、托、帕和微米汞柱四種單位來顯示。
另外，歐瑞康萊寶公司還擁有可以測量10-12mbar的超高真空測量儀表，這就是的IM540。
德國萊寶真空計|萊寶真空計|萊寶真空規(guī)管TR211今天，真空技術(shù)已經(jīng)能獲得從1000毫巴帶10-13毫巴的超真空。為保證穩(wěn)定、高質(zhì)量的生產(chǎn)和工藝，必須采用的測量和控制儀器來檢測與調(diào)整所需要的工作壓強。
萊寶真空測量儀 今天，真空技術(shù)已經(jīng)能獲得從1000毫巴帶10-13毫巴的超真空。為保證穩(wěn)定、高質(zhì)量的生產(chǎn)和工藝，必須采用的測量和控制儀器來檢測與調(diào)整所需要的工作壓強。
萊寶公司作為全系列的真空設備供應商，擁有應用各種工作原理的真空計，其測量范圍從1000毫巴到10-12毫巴，覆蓋了15個數(shù)量級，可以滿足各種真空工藝的要求。
