0.1 至 1 mm/s

175 mm, 350 mm

0.2 mm/s 至 4 mm/s

25

200 mm

Z 方向，相對(duì)探針針頭：
0.38 µm（350 mm 測桿）/ 0.19 µm（175 mm 測桿）

Z 方向，相對(duì)測量系統(tǒng)：
0.04 µm

0.2 mm

在平滑表面上，取決于偏差：
后緣高至 88°，前緣高至 77°

X 方向返回速度：0.2 至 8 mm/s
Z 方向：0.2 至 10 mm/s

< 1 µm（200 mm 以上）

探針法

R 測頭，MFW 250
光學(xué)測頭 Focodyn*、LS 1*、LS 10*
（*僅結(jié)合 PGK 或 GD 120 CNC 驅(qū)動(dòng)裝置）

(in Z) 50 mm
MFW 250: ±25 µm，±250 µm，（zui高 ±750 µm）；±1000 µin，±10,000 µin（zui高 ±30,000 µm）

自動(dòng)；0.56 mm；1.75 mm；5.6 mm；17.5 mm，56 mm，
（.022 / .070 / .224 / .700 / 2.240 英寸），
測量至擋塊，可變

1 至 50（默認(rèn)：5）

1 mN 至 120 mN 左右
（可在 MarSurf XC 20 中設(shè)置）