目錄:鄭州成越科學儀器有限公司>>PECVD氣相沉積系統(tǒng)>> CY-PECVD-450T-SSPECVD鍍膜儀
| 產品型號 | CY-PECVD-450T-SS |
| 真空腔體 | 前開門式，φ300mm X 300mm 不銹鋼材質 觀察窗：φ100mm 帶擋板 |
| 真空泵組 | 前級泵：旋片泵 抽速1.1L/s 次級泵：渦輪分子泵 抽速600L/s |
| 極限真空度 | 10-6Pa 三十分鐘內可達到 10-4Pa |
| 沉積真空 | 0.133~133Pa，可根據(jù)工藝調整 |
| 射頻電源 | 13.56MHz，500W，自動匹配 |
| 流量控制 | 質量流量計，默認 Ar氣 0~200sccm |
| 整機尺寸 | 1100mm x 800mm x1100mm |
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