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當(dāng)前位置：> 供求商機(jī)> FS 系列氣動(dòng)風(fēng)囊泵
高速?zèng)_程
提升泵的沖程速度 (最高達(dá)240 spm)，讓制造過(guò)程中，大大減少泵的尺寸、重量、成本，及降低脈動(dòng)。
無(wú)污染設(shè)計(jì)
過(guò)流端零件均采用氟樹(shù)脂材質(zhì)，沒(méi)有金屬零件外露的設(shè)計(jì)，外殼采用氟樹(shù)脂材質(zhì)。使用的軸封 (已申請(qǐng))，能顯著降低顆粒的產(chǎn)生。
液體輸送溫度范圍寬泛/高吐出壓力
液體輸送溫度范圍高達(dá)5 - 180°C，吐出壓力高達(dá)45MPa。不僅適用于清洗和CMP制程，同時(shí)適用于化學(xué)液體供藥。
易于維護(hù)
更換開(kāi)關(guān)無(wú)需拆卸，不需定期收緊螺栓，減少了停機(jī)時(shí)間。
傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)
內(nèi)置式開(kāi)關(guān)通過(guò)傳感器驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)打開(kāi)/關(guān)閉電磁閥。因此，即使連接各種控制器，亦可以輕易控制吐出量。
規(guī)格
最大吐出量 | 55 L/min |
最大吐出壓力 | 0.5 MPa |
最大耗氣量 | 670 NL/min |
最大沖程率 | 240 spm |
主要材質(zhì) | PTFE, PFA |
液體輸送溫度范圍 | 5 ~ 180 °C |
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