PR500/510等離子灰化機(jī)
高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子?經(jīng)典桶型。
PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

PR500/510等離子灰化機(jī)

高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm 

低溫等離子·經(jīng)典桶型。 

PR500：手動控制 PR510：自動觸摸屏控制

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作（PR510）,提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

用途 

● 去除光刻膠

● 部品清洗

● 界面活性處理

● 微研磨

● 硅晶圓，玻璃基板對應(yīng) 

特征 

● 大口徑（Φ215mm）石英反應(yīng)腔

● 小型一體化設(shè)計

● 操作簡單的觸摸屏方式（PR510型） 

規(guī)格 

型號		PR500	PR510
模式		DP模式，桶型
控制部	高頻輸出功率	Max500W
	頻率	13.56MHz
	同調(diào)方式	自動協(xié)調(diào)
反應(yīng)部	反應(yīng)腔	石英 Φ215×305mm
	反應(yīng)氣體	2系統(tǒng)（O2／CF4）
	控制	手動	觸摸屏自動控制
	配管材質(zhì)	不銹鋼、特氟龍
外形尺寸		W438×D520×H760mm	參照規(guī)格書
重量		約60kg	參照規(guī)格書
電源		單相AC100V 9A	三相AC200V 8A