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INFICON 射頻傳感技術能夠為半導體過程工具提供高度準確、寬頻、頻率判別式射頻測量。通過此射頻數(shù)據，可以詳細了解過程開發(fā)和生產過程問題中的實際等離子狀態(tài)，大幅降低過程變異性。
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瑞軒電子科技（上海）有限公司-------*儀器儀表供應商專業(yè)提供
INFICONRFS100射頻傳感器 INFICONRFS100射頻傳感器 INFICONRFS100射頻傳感器
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通過測量基本和諧波電壓和電流(包括相角測量)并對其進行分析來預測晶片計量結果,這樣工程師就能控制所處理的每個晶片的實際晶片結果 現(xiàn)在強大算法性能與射頻傳感技術*結合,可以基于實時測量以及易于理解的用戶界面所提供的相關性分析,顯著提高半導過程的可重復性 穩(wěn)定性和準確性
公司經營品牌：GE druck, GE Panametrics,GE Bently,Wika,HBM,Tektronix,BEAMEX,SIKA,E+E，美國華瑞RAE,梅思安MSA，德爾格Draeger，德國IKA，美國奧豪斯，美國哈希hach,安捷倫等品牌，派克Parker,阿托Atos,力士樂Rexroth,哈威Hawe，德國KK,英國Time Electronics,美國斯坦福,英國密其，德國LR-Cal,德國Schleich,澳大利TPS,德國卡爾德意志等進口品牌