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  • 型號(hào) CrystalSix®
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  • 所在地 上海市
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更新時(shí)間：2019-05-15 14:57:12瀏覽次數(shù)：470

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INFICON CrystalSix 晶體對(duì)于要求連續(xù)監(jiān)控速率的長(zhǎng)時(shí)間過程非常重要。CrystalSix 傳感器在一個(gè)傳感器頭中含有 6 顆石英監(jiān)控器晶體，為 OLED、MBE、太陽(yáng)能、長(zhǎng)時(shí)間光學(xué)鍍膜或其他需要長(zhǎng)時(shí)間腔室排氣的過程提供安全性。

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晶體更換是自動(dòng)完成的,不會(huì)中斷您的過程,支持持續(xù)監(jiān)控沉積速率 晶體索引通過氣動(dòng)機(jī)制完成 相比同類裝置使用的昂貴的真空發(fā)熱電機(jī),這種氣動(dòng)馬達(dá)可提供更好的晶體熱穩(wěn)定性 一個(gè) 8 英寸的水冷卻管保持傳感器頭的熱穩(wěn)定性,并提供晶體位置的靈活性 與某些 INFICON 薄膜控制器結(jié)合使用時(shí),傳感器提供位置反饋,因此可針對(duì)特定的材料安排特定的位置

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