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煙氣煙塵連續(xù)檢測系統(tǒng)

空氣分離和燃?xì)忸I(lǐng)域需要的氣體傳感器往往是超小量程或大量程，高精度，高價(jià)格的傳感器和儀表。其需求量很小，主要是微量氧氣傳感器、紅外CO傳感器、紅外CO2傳感器和紅外CH4傳感器。

在半導(dǎo)體工業(yè)安全領(lǐng)域的應(yīng)用

空氣分離企業(yè)的氣體產(chǎn)品主要是O2、N2、He、Ar。這些氣種廣泛用于鋼鐵、石化、醫(yī)療、半導(dǎo)體、民用領(lǐng)域。N2、He、Ar氣體的純度測量主要依靠測量氣體中的殘留O2來推算，O2濃度以ppm計(jì)，低的可以到1ppm。每個(gè)空分企業(yè)所用的微量氧分析儀數(shù)量為2-3臺(tái)。

和空分所用傳感器和儀表類似的是燃?xì)忸I(lǐng)域。見的燃?xì)馍a(chǎn)廠，是用煤和水生產(chǎn)水煤氣的煤氣廠。在水煤氣中，含有高濃度的CO和H2，O2在里面如果濃度過高是有爆炸危險(xiǎn)的。因此，需要將水煤氣中的O2去除，降到6000ppm以下。在6000ppm的濃度附近，比較合適的技術(shù)是順磁氧氣傳感器。CO、CO2濃度較高，用紅外傳感器比較合適。H2濃度也很高，目前為止還沒有比較廉價(jià)且精準(zhǔn)的直接測量方法，主要靠間接的方法來推算。水煤氣生產(chǎn)過程中，CO、CO2、H2、O2的測量是在線式的，需要實(shí)時(shí)監(jiān)控。

以硅材料為主體的半導(dǎo)體工業(yè)中

煙氣煙塵連續(xù)檢測系統(tǒng)