1、測試前儀器、流量計、真空計和陽性樣品都應進行校準、保證 是在有效期內進行測試

2、每個產品對應的測試腔體都需要進行3Q驗證后，方可進行方法 學驗證

3、測試液體包裝是需要考察樣品的性質，如粘度和蒸汽壓，測量 時的真空度需小于液體的蒸汽壓

4、 測試過程中，時間的參數(shù)設置非常重要，合適的時間參數(shù)保證 儀器能夠達到理想的真空狀態(tài)，而要避免產品中的氣體在測試 中被抽完

優(yōu)點：

1、具有高靈敏度的質量流量傳感器 ?

2、測試不損壞包裝，可重復利用，對于成本較高的產品可減少損 失

3、可以明確泄露的大小

4、 可以適用于產品的穩(wěn)定性調查研究 ?

5、測試時間短 ?

6、檢測限可以達到1um