Micro-Hybrid 

C_MOSI®紅外輻射源，TO46，帶蓋

經(jīng)濟型紅外輻射源，用于低輸入功率的氣體分析應(yīng)用中的大量

•廉價的組件標準MEMS技術(shù)和CMOS兼容

•使用SMD外殼進行有效的自動組裝過程

•加熱板溫度高達800°C，具有良好的輻射性能

•由于熱質(zhì)量不足而導(dǎo)致的高調(diào)制深度

Micro-Hybrid C_MOSI®紅外輻射源TO46帶蓋

描述

用于NDIR氣體分析和其他紅外測量應(yīng)用的IR輻射源。MEMS紅外發(fā)射器的膜基于C-MOSI®技術(shù)，膜溫度高達800°C。它可以長期穩(wěn)定地輸出輻射。發(fā)射器所需的低輸入功率還支持獨立和手持式應(yīng)用。我們的紅外發(fā)射器中使用的MEMS芯片由多層加熱板膜組成，該膜包含高溫穩(wěn)定的金屬CMOSI層。發(fā)射極芯片基于硅基板，背面蝕刻有膜。所有薄膜工藝均使用標準MEMS工藝和CMOS兼容材料進行。有源C-MOSI電阻層具有保護環(huán)境的功能。

Micro-Hybrid C_MOSI®紅外輻射源TO46帶蓋

技術(shù)指標