目錄:納特斯（蘇州）科技有限公司>>LS-17系列>> LS-1750
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
|---|
| 概觀 | |
|---|---|
| 步進行程[mm] | 31 |
| 掃描行程[μm] | >1.5 |
| 尺寸[mm] | 50 x 17 x 10 |
| 重量[g] | 32 |
| 力特性 | |
| 推力[N] | 2 |
| 負載[N] | 10 |
| 升力[N] | 1.5 |
| 定位性能 | |
| 開環(huán)速度[mm/s] | >10 |
| 開環(huán)定位分辨率[nm] | <1 |
| 閉環(huán)速度[mm/s] | >5 |
| 閉環(huán)定位分辨率[nm] | <2 |
| 單向重復(fù)定位精度[nm] | ±50 |
| 選配 | |
| 材質(zhì) | 標配為鋁底座；可選配鋼座（-ST）、鈦基（-TI）；均黑色陽極氧化（-BK） |
| 真空兼容 (HV) | 1E-6 mbar |
| 超高真空兼容 (UHV) | 1E-10 mbar |
| 無磁 | 可根據(jù)要求定制 |
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