
磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列
渦輪分子泵由多層轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片組成。 下圖所示的是葉片的角度以及旋轉(zhuǎn)方向的關(guān)系 氣體分子從高真空側(cè)進入泵內(nèi),附著于轉(zhuǎn)子葉片后將按照麥克斯韋分布朝不同方向脫離。 然而,由于葉片的傾斜角度和旋轉(zhuǎn),分子飛入下一層,并且容易穿過定子葉片再向下。 同時,從下層飛入并通過固定葉片后逆行的氣體分子,也能通過與轉(zhuǎn)子葉片碰撞再次飛到下一層。 葉片的角度是,上層的氣體分子容易通過(排氣方向的流向和逆流的差較大)的角度,而下層的氣體分子不容易逆行的(排氣方向的流向和逆流的比較大)角度。 在分子流域,渦輪分子泵是通過該轉(zhuǎn)子葉片和定子葉片發(fā)揮基本性能
主要特點
?無油的超真空環(huán)境
?機械式的氣體分子排氣(動態(tài)排氣),對所有的氣體的排氣速度大致相同
?可排稀有氣體和腐蝕性氣體
?可連續(xù)排大流量氣體
?可工作的壓力范圍寬。 (~10-10Pa).
OSAKA磁懸浮軸承型復(fù)合分子泵TG-M系列
使用磁懸浮軸承實現(xiàn)無油的排氣,而且維護周期長。提供排氣速度300L/s~3400L/s的產(chǎn)品。
TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M
新型磁懸浮軸承型渦輪分子泵TG397M / TG427M / TG907M / TG1307M 的特長