AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 是經(jīng)過長期驗證的具有優(yōu)良工藝穩(wěn)定性和控制能力的高性能射頻電源，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制，在半導(dǎo)體濺射、蝕刻、CVD、PECVD等制程工藝中具有優(yōu)良表現(xiàn)。AE RFG 系列射頻電源具有優(yōu)秀的工藝穩(wěn)定性和射頻控制能力，能夠?qū)崿F(xiàn)對射頻輸出的精準控制。RFG 系列射頻電源具有良好的成膜能力，成膜速度快，效率高，在半導(dǎo)體制程薄膜工藝中具有廣泛應(yīng)用，能夠在一定程度上的提高產(chǎn)線效率和產(chǎn)品良率。該型射頻電源整體采用了緊湊設(shè)計，小巧便捷，能夠降低客戶的使用成本。

AE 射頻電源 RFG 3001 13.56MHz 3KW RF Generator 參數(shù)規(guī)格

設(shè)備品牌：AE（Advanced Energy）

設(shè)備型號：RFG 3001                                                                                    

AC 電源輸入：3 phase~ ，~208V/PE，50/60Hz

RF 射頻輸出：13.56MHz，3000W，387V~

通訊接口：Control，CEX

設(shè)備散熱：水冷散熱

水冷進水需求：MAX 進水壓力 6.9Bar/690kPa