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GPC-100A精確磨拋控制儀

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更新時(shí)間:2024-03-12 17:11:58瀏覽次數(shù):447

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:GPC-100A精確磨拋控制儀簡(jiǎn)稱磨拋控制儀,主要用來(lái)控制被研磨樣品表面的平面度和平行度,使磨拋后的樣品具有高的尺寸精度和質(zhì)量?jī)?yōu)良的表面狀態(tài)

詳細(xì)介紹

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介: GPC-100A 精確磨拋控制儀簡(jiǎn)稱磨拋控制儀, 主要用來(lái)控制被研磨樣品表面的平面度和平行度, 使磨拋后的樣品具有高的尺寸精度和質(zhì)量?jī)?yōu)良的表面狀態(tài)。磨拋控制儀采用質(zhì)量?jī)?yōu)良的不銹鋼材料制成,   外形美觀,制造工藝,主要適用于 UNIPOL-1202UNIPOL-1502 研磨拋光機(jī)上,是工件進(jìn)行磨拋時(shí)不  可缺少的精密磨拋器具, 尤其適用于晶圓樣品、表面平行度和平面度要求高的大的圓片狀樣品的研磨。   GPC-100A 精確磨拋控制儀專用載樣塊用螺紋與控制儀進(jìn)行連接, 試樣裝卡方式為真空吸附, 并配有數(shù)顯  厚度測(cè)量?jī)x,可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品減少的厚度,承載樣件直徑不大于 103mm 、厚度不大于 13mm 且具有工藝重  復(fù)性高的優(yōu)點(diǎn)。




產(chǎn)品名稱

GPC-100A  確磨拋控制儀

產(chǎn)品型號(hào)

GPC-100A

主要特點(diǎn)

可嚴(yán)格控制被磨樣品表面的平行度和平面度,控制準(zhǔn)確度高。研磨過(guò)程中可搭配數(shù)顯測(cè)厚儀使 用,隨時(shí)觀測(cè)樣品磨削量,尤其適用于表面平行度和平面度及樣品厚度要求高的晶圓樣品研磨 使用。

技術(shù)參數(shù)

1、載樣盤(pán)直徑: ?103mm


2、載樣盤(pán)軸向行程: 12mm


3、數(shù)顯表精度: 0.001mm


4、載樣盤(pán)可調(diào)加載壓力: 0.1kg-2.1kg


5、壓力確認(rèn)儀有效量程: 1g-5000g


6、樣品裝卡方式:真空吸附


7、承載樣件尺寸:直徑≤ 103mm、厚度≤ 13mm




產(chǎn)品規(guī)格

尺寸: 外徑 146mm ,高 266mm

標(biāo)準(zhǔn)配件

1、真空泵


2、過(guò)濾瓶


3、底座


4、玻璃片


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