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D512MG/D522MGHORIBA堀場全新壓差式質(zhì)量流量控制器
參考價(jià): 面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • D512MG/D522MG 產(chǎn)品型號
  • HORIBA/堀場 品牌
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  • 深圳市 所在地

訪問次數(shù):237更新時(shí)間:2025-02-19 11:24:01

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產(chǎn)品簡介
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HORIBA堀場全新D512MG/D522MG壓差式質(zhì)量流量控制器
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HORIBA堀場全新壓差式質(zhì)量流量控制器

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壓差式質(zhì)量流量控制器 D500


壓差式質(zhì)量流量控制器

這款技術(shù)優(yōu)良的壓差式質(zhì)量流量控制器具備壓差檢測功能和壓電驅(qū)動(dòng)閥。

高性能 CRITERION D500 適用于一系列優(yōu)良的半導(dǎo)體制程,具有壓力補(bǔ)償,多量程/多氣體/多壓力,G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn))自診斷功能,高精度、快速響應(yīng)、寬量程、全金屬等特點(diǎn)。

  • 壓力不敏感性能
    高性能壓力補(bǔ)償新功能簡化了供氣系統(tǒng)

  • 多量程、多氣體、多壓力解決方案
    新功能允許用戶改變氣體類型、滿量程流量和供壓范圍

  • G-LIFE(集成限流器方程的氣體定律校驗(yàn))自診斷功能
    優(yōu)良的工藝健康監(jiān)控功能允許操作人員自行進(jìn)行測試,即使提高通過量,通常也能在三秒或更短的時(shí)間內(nèi)完成測試。

  • 高精度
    優(yōu)良的三維調(diào)整功能提高了工藝氣的流量精度

  • 快速響應(yīng)
    響應(yīng)時(shí)間:< 0.8 秒
    可實(shí)現(xiàn)精確、穩(wěn)定的流量控制

  • 動(dòng)態(tài)范圍
    控制范圍廣:0.2% 滿量程 至 100% 滿量程

 




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