INFICON英?？?PPG570 壓電組合真空計

INFICON英福康 PPG570 壓電組合真空計

PPG570

皮拉尼真空計PPG570

大氣壓至中壓真空計+大氣壓開關(guān)

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新型 INFICON Pirani 壓電組合真空計 (PPG570) 基于現(xiàn)有的 MEMS（微機電系統(tǒng)）傳感器技術(shù)，該技術(shù)也用于我們的 PPG550 "ATM 至中真空 "真空計。 

PPG570與PPG550的不同之處在于，它額外安裝了ATM傳感器，使PPG570可以用于傳統(tǒng)的負載鎖定應(yīng)用。例如，在半導(dǎo)體行業(yè)或任何其他真空應(yīng)用中，相對于大氣環(huán)境壓力的精確壓力測量非常重要。 

在MEMS工藝中微型化的Pirani/Piezo組合技術(shù)能夠建造一個非常小的傳感器，從而節(jié)省空間，這使得測量設(shè)備的整體高度非常小成為可能。 

除了高度低的優(yōu)勢外，基于MEMS技術(shù)的皮拉尼還具有在高壓范圍內(nèi)比傳統(tǒng)皮拉尼測量更深、更準確的優(yōu)勢。與安裝在同一法蘭上的MEMS壓電傳感器相結(jié)合，皮拉尼真空計成為一個真正的寬范圍真空計，其測量范圍遠遠超過通常的1000mbar，也可延伸到大氣層。同時，MEMS壓電傳感器提供獨立于氣體類型的壓力測量，范圍為2 ...1333毫巴。上述技術(shù)的另一個優(yōu)點是增加了對加速力和振動的抵抗力。 

最后但并非最不重要的是，新的INFICON PPG570可以用來直接取代所謂的MKS Instruments MKS901P "MicroPirani™和壓電負載鎖真空壓力傳感器"。PPG570提供相同的連接器/引腳分配、模擬輸出和RS232/485數(shù)字通信協(xié)議兼容性。

優(yōu)勢

2mbar以上的氣體類型獨立--允許任何氣體混合物的安全排放 

大氣層的高精度和重現(xiàn)性--用于可靠、快速的大氣層壓力檢測 

大氣層環(huán)境壓力測量 多

達3個固態(tài)繼電器 

安裝方向的多樣性--為工具設(shè)計提供工程自由度 

可選擇的模擬輸出信號，便于系統(tǒng)集成 

數(shù)字接口RS232/RS485 

能夠直接滴入替代MKS901P "MicroPirani™-和壓電式負載鎖真空壓力傳感器"。 

合規(guī)性和標準。CE, EN, CSA, RoHS

典型應(yīng)用

半導(dǎo)體負載鎖應(yīng)用 

在分析設(shè)備/質(zhì)量分光計

中使用 

物理氣相沉積 

規(guī)格

Measurement range (N2) mbar 1x10-6 … 1333 

Accuracy      

   1100 ... 1333 mbar % of reading 0.5 

800 ... 1099 mbar % of reading 0.25 

100 ... 800 mbar % of reading 0.5 

2 ... 99.9 mbar % of reading 1 

1 x 10-4 ... 1.99 mbar % of reading 5 

1 x 10-5 ... 9.99 x 10-5 mbar % of reading 25 

Temperature compensation °C +10 … +50 

Temperature measurement absolute accuracy °C +1.5 (0 … +80) 

Supply voltage at the gauge V (dc) +12 … +30 ripple max. 1 Vpp 

在此下載完整的規(guī)格

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