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【高斯摩分享】什么是旋轉(zhuǎn)舞臺?

2025-6-18  閱讀(161)

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旋轉(zhuǎn)臺是安裝設(shè)備或物體的旋轉(zhuǎn)平臺。

用于調(diào)整安裝在旋轉(zhuǎn)平臺上的物體的方向和角度,并進行定位和測量。旋轉(zhuǎn)方式有手動或電動??刂品椒òㄩ_環(huán)和反饋控制,并且有多種尺寸,因此根據(jù)應用正確使用它們很重要。

此外,旋轉(zhuǎn)工作臺很少用作獨立的旋轉(zhuǎn)工作臺,因為旋轉(zhuǎn)運動通常用于加工或測量等目的,這涉及某種后續(xù)運動。

旋轉(zhuǎn)平臺的應用

旋轉(zhuǎn)臺固定半導體晶圓等,進行檢查、精密測量、運動模擬器等。它還可以修復光機械組件并執(zhí)行精確測量。

旋轉(zhuǎn)臺本身可以以各種方向安裝。在考慮旋轉(zhuǎn)待處理或測量的物體或設(shè)備的機械部件是否更有效之后使用它們。

根據(jù)用途,需要高精度,例如需要粗略角度時需要手動粗轉(zhuǎn),需要精細角度調(diào)整時需要精細旋轉(zhuǎn)。

旋轉(zhuǎn)臺原理

支撐旋轉(zhuǎn)平臺的旋轉(zhuǎn)平臺的結(jié)構(gòu)包括使用交叉滾子軸承、滑動型和角軸承的結(jié)構(gòu)。

1.交叉滾子軸承方式

交叉滾子軸承是由帶90°V形槽的滾子座圈和圓柱滾子組成的軸承。圓柱滾子正交錯開,接觸角為45°。這種結(jié)構(gòu)使得滾珠軸承的后支撐結(jié)構(gòu)可以實現(xiàn)為單列,使其能夠同時承受多個方向的載荷。

當旋轉(zhuǎn)臺被驅(qū)動時,多個圓柱滾子在滾子座圈上滾動,因此從停止到啟動摩擦力幾乎沒有變化。交叉滾子軸承通過線接觸支撐負載,并且比滾珠導軌機構(gòu)更堅固。另外,由于轉(zhuǎn)臺和交叉滾子軸承可以直接連接,因此可以減少結(jié)構(gòu)部件的數(shù)量。

旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)精度取決于滾子的精度,因此根據(jù)滾子的精度等級可以實現(xiàn)高旋轉(zhuǎn)精度。另外,交叉滾子軸承摩擦力小,可以用輕力操作,因此可以在微動機構(gòu)中使用千分尺頭,從而實現(xiàn)較高的定位精度。

通過將步進電機連接到旋轉(zhuǎn)機構(gòu),還可以實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)角度、方向和操作程序的自動化。

2、滑動法

這是一種使旋轉(zhuǎn)臺的一側(cè)與固定側(cè)的一側(cè)進行面接觸并滑動的方法。這稱為燕尾滑動。該機構(gòu)簡單并且具有防止灰塵進入間隙的結(jié)構(gòu)。大的支撐面積使其能夠承受沖擊載荷和大負載。

3、角軸承法

角接觸軸承是一種具有接觸角并能承受一個方向軸向載荷的軸承。當用于旋轉(zhuǎn)臺時,使用兩個角軸承并將它們相對放置。該方法為軸向和徑向載荷提供了更大的剛度。

4、電機驅(qū)動

步進電機常用于電動旋轉(zhuǎn)平臺?;静骄嘟菫?0.36°,整步分辨率為 0.004°,1/20 微步分辨率約為 0.0002°。

旋轉(zhuǎn)平臺的特點

1. 精動機構(gòu)

旋轉(zhuǎn)臺具有可360°旋轉(zhuǎn)的粗轉(zhuǎn)機構(gòu),以及可在特定范圍內(nèi)進行微動旋轉(zhuǎn)的微動機構(gòu)。精細旋轉(zhuǎn)采用蝸桿和齒輪傳動,并使用精密千分尺。

正常的微調(diào)范圍是±3至5度。分辨率為約 5 弧分的游標刻度。

2.高剛性

旋轉(zhuǎn)平臺最大限度地減少了嘎嘎聲、搖晃、晃動和間隙。軸向竄動一般小于500μrad。

3. 功能

還有一個旋轉(zhuǎn)舞臺,可用于100級潔凈室。此外,我們的許多產(chǎn)品均符合歐洲 RoHS 指令。粗轉(zhuǎn)機構(gòu)和微調(diào)機構(gòu)可以用螺釘鎖緊。

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