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供應(yīng)簡介

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。

詳細介紹

Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵 TG390MI

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵主要分為兩大類：

復合式渦輪分子泵：結(jié)合渦輪級和牽引級，具有更寬的工作壓力范圍

純渦輪分子泵：全部由渦輪葉片組成，在超高真空下性能更優(yōu)

現(xiàn)代渦輪分子泵通常由電機、轉(zhuǎn)子組件、軸承系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和外殼五大部分組成，采用精密動平衡技術(shù)確保高速運轉(zhuǎn)的穩(wěn)定性。

對于易發(fā)生反應(yīng)產(chǎn)物積累的器件，該系列采用我們的保溫結(jié)構(gòu)和自熱機構(gòu)，顯著降低反應(yīng)產(chǎn)物的沉積速率。

傳統(tǒng)的方法是加熱整個周圍區(qū)域

，包括反應(yīng)產(chǎn)物的目標部分

對策，并分散熱量。

?無法有效使用。

?對目標區(qū)域以外的區(qū)域的熱效應(yīng)

TG-MI 系列采取的措施

除了通過外部加熱器提高溫度外，還可以有效利用泵內(nèi)部產(chǎn)生的吸入氣體的摩擦熱，有效地提高氣體接觸部分的溫度

，減少外部加熱器的輸出功率，提高節(jié)能效果！

?減少對主要部件的熱影響，減少對泵的損傷。

?排氣管也采用隔熱材料。保持最佳溫度并防止產(chǎn)品在排氣管中形成。

用

半導體、FPD、MEMS 制造等蝕刻設(shè)備
易產(chǎn)生反應(yīng)產(chǎn)物的工藝設(shè)備

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