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詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空超低振動(dòng)型渦輪分子泵 TG1300ML

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過(guò)轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域

（一）半導(dǎo)體制造

晶圓加工設(shè)備（刻蝕、離子注入等）

光刻機(jī)真空系統(tǒng)

半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備

（二）科學(xué)研究

高能物理實(shí)驗(yàn)裝置

表面分析儀器（XPS、AES等）

空間環(huán)境模擬設(shè)備

（三）分析儀器

質(zhì)譜儀

電子顯微鏡

同步輻射裝置

（四）特種工藝

分子束外延（MBE）

納米材料制備

精密光學(xué)鍍膜

（五）新興領(lǐng)域

量子計(jì)算研究

核聚變實(shí)驗(yàn)裝置

優(yōu)良材料研發(fā)

用

EUV 光刻設(shè)備等下一代半導(dǎo)體制造設(shè)備
高精度、高性能電子顯微鏡、分析設(shè)備、測(cè)量設(shè)備等

半導(dǎo)體制造正在朝著 “小型化 " 和 “高集成度 "的方向發(fā)展。同時(shí)，分析、測(cè)量和檢查過(guò)程也要求“更準(zhǔn)確"和“更復(fù)雜"。

為了進(jìn)行微細(xì)加工和微觀區(qū)域的測(cè)量和分析，即使改進(jìn)了控制技術(shù)，設(shè)備振動(dòng)也毫無(wú)意義。因此，真空泵對(duì)減振的需求非常強(qiáng)烈。

我們成功地將泵體的振動(dòng)值抑制到 1 nm 或更??！ * 根據(jù)我們的測(cè)量方法

配備特殊的防振阻尼器，振動(dòng)值進(jìn)一步降低一個(gè)數(shù)量級(jí)！

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