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所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時間：2025/6/20 16:18:08
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Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG1307M
Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG1307M
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
渦輪分子泵的顯著特點
（一）結(jié)構(gòu)設(shè)計特征
多級渦輪葉片組（通常10-20級）
精密加工的鋁合金或鈦合金轉(zhuǎn)子
超精密軸承系統(tǒng)（陶瓷球軸承或磁懸浮軸承）
緊湊的模塊化設(shè)計
內(nèi)置智能控制系統(tǒng)
（二）性能參數(shù)特點
工作壓力范圍：10?3至10?11mbar
壓縮比高達101?（對氮氣）
抽速范圍：10-5000L/s
啟動時間短（3-15分鐘）
（三）運行維護特點
需要前級泵（通常為旋片泵或干泵）支持
對振動和沖擊敏感
定期軸承維護要求
自動保護功能完善（過載、過熱等）
省電設(shè)計
運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。
各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE
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