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所在地：日本
貨物所在地：四川成都市
更新時間：2025/6/20 16:23:10
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Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG397M
Osaka Vacuum大阪真空 磁浮軸承型渦輪分子泵 TG397M
渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動量交換來實現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國科學家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設備之一。渦輪分子泵通過轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運動，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。
渦輪分子泵的核心優(yōu)勢
真空性能
可獲得10??mbar以上的超高真空
抽速曲線平坦，工作范圍寬
對輕質(zhì)氣體（如氫氣）抽速高
清潔無污染
無油，不會產(chǎn)生碳氫化合物污染
適合潔凈敏感工藝
符合SEMI標準
高效節(jié)能
比擴散泵節(jié)能50%以上
快速啟動，縮短工藝周期
功率因數(shù)高
穩(wěn)定可靠
平均時間超過30000小時
抗突發(fā)大氣沖擊能力強
振動噪聲小
智能控制
變頻調(diào)速功能
實時狀態(tài)監(jiān)測
故障自診斷系統(tǒng)
省電設計
運行數(shù)據(jù)、觸地計數(shù)、型號信息等可以存儲在主機中 * 即使在大修期間更換控制器，也可以傳輸數(shù)據(jù)。
各種通信規(guī)格：并行 I/O、RS232C、RS485、Profibus、DeviceNet、EtherCAT
國際標準：NRTL/SEMI-S2/CE
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