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詳細(xì)介紹

Osaka Vacuum大阪真空渦輪分子泵 TG800F

渦輪分子泵（Turbomolecular Pump）是一種通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片與氣體分子動(dòng)量交換來(lái)實(shí)現(xiàn)抽氣作用的高真空泵。1958年由德國(guó)科學(xué)家貝克（W. Becker）研制成功，現(xiàn)已成為高真空和超高真空系統(tǒng)中最核心的抽氣設(shè)備之一。渦輪分子泵通過(guò)轉(zhuǎn)子葉片以超音速（通常300-600m/s）運(yùn)動(dòng)，直接撞擊氣體分子并賦予其定向速度，從而在進(jìn)氣口端產(chǎn)生高真空環(huán)境。

渦輪分子泵的典型應(yīng)用領(lǐng)域

（一）半導(dǎo)體制造

晶圓加工設(shè)備（刻蝕、離子注入等）

光刻機(jī)真空系統(tǒng)

半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備

（二）科學(xué)研究

高能物理實(shí)驗(yàn)裝置

表面分析儀器（XPS、AES等）

空間環(huán)境模擬設(shè)備

（三）分析儀器

質(zhì)譜儀

電子顯微鏡

同步輻射裝置

（四）特種工藝

分子束外延（MBE）

納米材料制備

精密光學(xué)鍍膜

（五）新興領(lǐng)域

量子計(jì)算研究

核聚變實(shí)驗(yàn)裝置

先進(jìn)材料研發(fā)

* 排放腐蝕性氣體時(shí)，請(qǐng)選擇化學(xué)相容性 TG-M 或 TG 系列。

它可以從各個(gè)方向直接安裝在

設(shè)備上，具有靈活的安裝姿勢(shì)。管道設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單，可實(shí)現(xiàn)高效排氣。

耐振動(dòng)性和耐加速性耐

振動(dòng)性，即使在泵運(yùn)行時(shí)也可以移動(dòng)。我們有良好的記錄，即使在我們過(guò)去經(jīng)歷過(guò)的最大地震中也能重新啟動(dòng)。它也可以安裝在運(yùn)動(dòng)部件上，例如排氣車(chē)和腔室門(mén)。

通過(guò)簡(jiǎn)化緊湊的尺寸結(jié)構(gòu)，

可以實(shí)現(xiàn)小型化和輕量化。

快速啟動(dòng)

更快，待機(jī)時(shí)間更短。

抗大氣進(jìn)入的結(jié)構(gòu)由于

它可以承受突然的壓力上升，因此對(duì)于因泄漏而快速停止、頻繁啟動(dòng)和停止以及反復(fù)進(jìn)入大氣也很有效。

可長(zhǎng)期使用：

適當(dāng)檢修后可長(zhǎng)期使用。 * 泵的設(shè)計(jì)壽命為 100,000 小時(shí)或更長(zhǎng)時(shí)間

它

配備了一個(gè)符合 RS232C 標(biāo)準(zhǔn)的串行接口，能夠作為標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行串行通信。

符合安全標(biāo)準(zhǔn)的 NRTL/SEMI-S2/CE

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