1. 杠桿結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)高效省力操作
該晶圓夾持系統(tǒng)采用雙支點(diǎn)杠桿設(shè)計(jì)，通過機(jī)械增益原理將操作力降低65%。鎖定機(jī)構(gòu)啟動后僅需0.8N的保持力即可穩(wěn)定支撐300mm晶圓，大幅減輕操作負(fù)擔(dān)，使長時(shí)間作業(yè)更加輕松。

2. 自動鎖定確保穩(wěn)定夾持
創(chuàng)新的棘輪鎖定裝置在閉合后自動保持預(yù)設(shè)壓力，無需持續(xù)施力。系統(tǒng)配備壓力顯示裝置，操作人員可直觀確認(rèn)夾持狀態(tài)，避免因疲勞導(dǎo)致的壓力波動。

3. 兩點(diǎn)接觸設(shè)計(jì)優(yōu)化潔凈度
接觸部位采用精密加工的PEEK材料，兩點(diǎn)接觸結(jié)構(gòu)將污染風(fēng)險(xiǎn)顯著降低。PEEK材料具備260℃耐溫性能，在多種化學(xué)環(huán)境下保持穩(wěn)定，滿足半導(dǎo)體制造要求。

4. 定制服務(wù)提供專業(yè)解決方案
系統(tǒng)支持多種接觸端形狀和尺寸的定制加工，可根據(jù)具體應(yīng)用需求提供專業(yè)方案。模塊化設(shè)計(jì)便于維護(hù)，使用壽命可達(dá)2500次操作以上。