產(chǎn)品參數(shù)：

※ 備注

1：水平放置下的中心垂直負(fù)載。

2：最小運(yùn)動(dòng)增量不等同于分辨率，最小運(yùn)動(dòng)增量是指運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動(dòng)的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠(yuǎn)小于最小運(yùn)動(dòng)增量。考慮傳動(dòng)結(jié)構(gòu)和編碼器對(duì)系統(tǒng)誤差的影響，直線電機(jī)位移臺(tái)與步進(jìn)電機(jī)位移臺(tái)相比，其最小運(yùn)動(dòng)增量更加接近于分辨率。

3：精度測量數(shù)據(jù)是平臺(tái)在水平放置的情況下使用激光干涉儀測量的數(shù)據(jù)

4：典型值和保證值的區(qū)別見技術(shù)指南。

5：最大速度為典型值，根據(jù)負(fù)載和控制器的不同會(huì)有區(qū)別。

主要特點(diǎn)：

多種行程可選，滿足更多應(yīng)用需求： 提供50mm 和 120mm 三種行程選擇，結(jié)構(gòu)緊湊，可靈活集成于各種空間受限的應(yīng)用場景。

一體化絲杠電機(jī)，運(yùn)行平穩(wěn)可靠： 采用上海鳴志一體化絲杠電機(jī)，無需聯(lián)軸器，避免偏心擾動(dòng)，運(yùn)行更加平穩(wěn)，保障長期穩(wěn)定的可靠性。

高精度定位，穩(wěn)定可靠： 采用優(yōu)良的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)，搭配進(jìn)口 C3 級(jí)絲杠和高精度 SP 級(jí)導(dǎo)軌，并集成光柵尺閉環(huán)控制

大承載能力，應(yīng)對(duì)挑戰(zhàn)： 穩(wěn)固的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，出色的承載能力，輕松應(yīng)對(duì)重型負(fù)載挑戰(zhàn)。

相對(duì)快速響應(yīng)，提升效率： 伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)帶來更快的響應(yīng)速度，提升工作效率。

斷電自鎖，安全可靠： 內(nèi)置斷電自鎖功能，確保運(yùn)行安全可靠。

強(qiáng)大軟件支持，輕松操控: 免費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)版 SDK，支持 Window、Linux 環(huán)境下多種開發(fā)語言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用戶進(jìn)行二次開發(fā)和系統(tǒng)集成。

高性能控制器，實(shí)現(xiàn)復(fù)雜運(yùn)動(dòng): 控制器支持圓弧插補(bǔ)、直線插補(bǔ)、位置記憶和任意圖形導(dǎo)入，可滿足各種復(fù)雜運(yùn)動(dòng)控制需求。（選配）

靈活通訊，無縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制，實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定的數(shù)據(jù)傳輸。

產(chǎn)品應(yīng)用：

樣品臺(tái) Sample Stage、姿態(tài)調(diào)整 Posture Adjustment、光學(xué)測試 Optical Test、光學(xué)設(shè)備 Optical Equipment