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更新時(shí)間：2022-11-30 16:04:22瀏覽次數(shù)：227評(píng)價(jià)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

客戶選擇我們的離子束沉積產(chǎn)品是因?yàn)樗鼈兡軌蛏a(chǎn)具有高質(zhì)量，致密和表面光滑的沉積薄膜。離子束技術(shù)提供了一種多樣的刻蝕和沉積的方法，并可在同一設(shè)備上實(shí)現(xiàn)，因而提高系統(tǒng)的利用率。我們的設(shè)備具有靈活的硬件選項(xiàng)，包括直開式、單襯底傳送模式和盒式對(duì)盒式模式。系統(tǒng)規(guī)格與實(shí)際應(yīng)用緊密協(xié)調(diào)，以確保獲得速率更快且重復(fù)性更好的工藝結(jié)果。詢價(jià) 增加到詢價(jià)列表在詢價(jià)列表中查看此產(chǎn)品

詳細(xì)介紹

質(zhì)量薄膜高 ——超低污染
產(chǎn)量高，緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計(jì)——運(yùn)行成本低
高速襯底架（高達(dá)1000RPM）設(shè)計(jì)，并配備了白光光學(xué)監(jiān)視器（WLOM）——更為精確的實(shí)時(shí)光學(xué)薄膜控制
配置靈活 ——適于良好的研究應(yīng)用
靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機(jī)械手臂的盒對(duì)盒模式

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