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Ionfab 300 IBD
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  • 質(zhì)量薄膜高 ——超低污染
  • 產(chǎn)量高,緊湊的系統(tǒng)體積設(shè)計(jì)­——運(yùn)行成本低
  • 高速襯底架(高達(dá)1000RPM)設(shè)計(jì),并配備了白光光學(xué)監(jiān)視器(WLOM)——更為精確的實(shí)時(shí)光學(xué)薄膜控制
  • 配置靈活 ——適于良好的研究應(yīng)用
  • 靈活的晶圓操作方式 —— 直開式、單晶圓傳送模式或者帶機(jī)械手臂的盒對(duì)盒模式

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