在SmartScan Auto*的智能模式下，系統(tǒng)自動(dòng)執(zhí)行所有必要的成像操作，同時(shí)智能選擇佳的圖像質(zhì)量和掃描速度。這是通過(guò)Park的利技術(shù)才得以實(shí)現(xiàn)的。它不僅可以為用戶(hù)節(jié)省時(shí)間和成本，還可以為用戶(hù)帶來(lái)好的研究成果。

Park NX10可以為用戶(hù)帶來(lái)高納米級(jí)分辨率的數(shù)據(jù)，它是一個(gè)實(shí)現(xiàn)真正非接觸模式的原子力顯微鏡，在延長(zhǎng)探針使用壽命的同時(shí)，還可以良好地保護(hù)樣品不受損壞，延長(zhǎng)樣品的使用壽命?？蓮澢莫?dú)立的XY和Z掃描儀可帶來(lái)*精確度和分辨率。

1. 掃描范圍為50 μm x 50 μm 的2D掃描器

Park NX10 帕克原子力顯微鏡?它可為進(jìn)行精確的納米級(jí)樣品掃描，提供基本的面外高效正交運(yùn)動(dòng)和高響應(yīng)能力。Park NX10的這種緊密剛硬的構(gòu)造具備低噪聲高速的伺服響應(yīng)能力。

2. 高速Z軸掃描器，掃描范圍達(dá)15 μm

Park NX10 帕克原子力顯微鏡借助高強(qiáng)度壓電疊堆和撓性設(shè)計(jì)，標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻率高達(dá)9kHz(一般為10.5kHz）且探針的Z軸速率不低于48mm/秒。 Z軸大掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15 μm擴(kuò)展至30 μm（可另選Z掃描頭）。

3. 低噪聲XYZ位置傳感器

行業(yè)的低噪聲Z軸探測(cè)器代替Z電壓作為形貌信號(hào)。低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。 

4.   驅(qū)動(dòng)XY軸樣品臺(tái)

XY軸樣品臺(tái)是驅(qū)動(dòng)化的，以便于將樣品導(dǎo)航并定位到掃描區(qū)域。這種驅(qū)動(dòng)臺(tái)在這兩個(gè)軸上的分辨率同為0.6um（使用微步）

5. 自動(dòng)步進(jìn)掃描

借助驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)，步進(jìn)掃描可編程多區(qū)域成像，以下是它的工作流程：

1.掃描成像

2. 抬起懸臂

3. 移動(dòng)驅(qū)動(dòng)平臺(tái)到設(shè)定位置

4.進(jìn)針

5.重復(fù)掃描 該自動(dòng)化功能可大大減少掃描過(guò)程中手動(dòng)需求，從而很大程度上提高生產(chǎn)力。

操作方便的樣品臺(tái)

6. Park NX10的*頭部設(shè)計(jì)可使用戶(hù)從側(cè)面操作樣品和探針，用戶(hù)在樣品臺(tái)上可放置的大樣品體積為50mm× 50mm×20mm（長(zhǎng)×寬×高）。