全自動(dòng)圖形識(shí)別

Park NX-HDM 原子力顯微鏡?借助強(qiáng)大的高分辨率數(shù)字CCD鏡頭和圖形識(shí)別軟件，Park NX-HDM讓全自動(dòng)圖形識(shí)別和對(duì)準(zhǔn)成為可能。

自動(dòng)測(cè)量控制

Park NX-HDM 原子力顯微鏡?自動(dòng)化軟件讓NX-HDM的操作不費(fèi)吹灰之力。測(cè)量程序針對(duì)懸臂調(diào)諧、掃描速率、增益和點(diǎn)參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化，為您提供多位置分析。

自動(dòng)化軟件會(huì)按照測(cè)量文件中預(yù)設(shè)的程序進(jìn)行樣品測(cè)量。Park的用戶友好型軟件界面讓用戶可靈活執(zhí)行全系統(tǒng)功能。創(chuàng)建新測(cè)量文件只需要10分鐘左右的時(shí)間，而修改現(xiàn)有的測(cè)量文件則需要不到5分鐘的時(shí)間。

Park NX-HDM具有： 

·自動(dòng)、半自動(dòng)和手動(dòng)模式 

·各自動(dòng)程序的可編輯測(cè)量方法 

·測(cè)量過程實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè) 

·自動(dòng)分析所獲取的測(cè)量數(shù)據(jù)

二維柔性導(dǎo)引掃描器，超大的100 μm x 100 μm掃描范圍

XY軸掃描器含有對(duì)稱的二維柔性和高強(qiáng)度壓電疊堆，可在保持平面外運(yùn)動(dòng)少的情況下，實(shí)現(xiàn)高正交運(yùn)動(dòng)以及納米級(jí)樣品掃描下的高響應(yīng)度。

 閉環(huán)式XY軸掃描器帶雙軸伺服系統(tǒng)

XY軸掃描器的各軸上配有兩個(gè)對(duì)稱的低噪聲位置感應(yīng)器，得以在大的掃描范圍和樣品尺寸下保持高正交掃描。雙感應(yīng)器能夠修正和補(bǔ)償單感應(yīng)器引起的非線性和非平面位置誤差。

高速Z軸掃描器，掃描范圍達(dá)15 μm

借助高強(qiáng)度壓電疊堆和柔性結(jié)構(gòu)，標(biāo)準(zhǔn)Z軸掃描器的共振頻率高達(dá)9 kHz以上（一般為10.5 kHz）且探針的Z軸移動(dòng)速率不低于48 mm/秒，讓信息反饋更為準(zhǔn)確。大Z軸掃描范圍可從標(biāo)準(zhǔn)的15 μm擴(kuò)展至40μm（可選購(gòu)的遠(yuǎn)距離Z軸掃描器）。

低噪聲XYZ軸位置傳感器

行業(yè)的低噪聲Z軸探測(cè)器替代Z電壓，作為樣貌信號(hào)。此外，低噪聲XY閉環(huán)掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描范圍的0.15%以下。