EKSMA光束整形器,又稱FBSR光束整形器、圓形平頂光透鏡、圓形光束整形鏡、平頂光束整形器。這種圓形平頂光束整形鏡是專門用于生成圓形平頂光斑的光束整形DOE元件。EKSMA光束整形透鏡需搭配聚焦鏡使用,可以形成平頂輪廓的光斑??捎糜谌肷涔鉃?43-1064nm波長,入射光束直徑為1.0-6.0mm的高斯光束,通過該平頂光斑整形器,得到均勻的平頂光斑,尺寸大約是衍射極限光斑尺寸的1.5倍。
EKSMA光束整形器,用于生成衍射極限光斑尺寸的1.5倍的圓形平頂光束
EKSMA光束整形器,是專門用于生成圓形平頂光斑的光束整形DOE元件。EKSMA平頂光整形器,EKSMA光束整形透鏡在幾乎所有的聚焦鏡的焦平面上都能實現(xiàn)圓形平頂光的效果。每個EKSMA Optics FBSR光束整形器都有特定的輸入光束直徑和工作波長要求。這種平頂光束整形鏡可以與任何物鏡或場鏡組合,可以集成到光束路徑的幾乎任何位置,甚至可以在擴束器/望遠鏡的前面或內(nèi)部。圓形平頂光束整形鏡,又稱圓形平頂光束整形器、圓形平頂光透鏡、FBSR光束整形器、圓形平頂光斑整形器。
這里只列出了圓形的光束整形器型號,其實Eksma還有正方形和直線型的光束整形鏡DOE。
由EKSMA Optics的平頂光斑整形器這樣的光束整形DOE所產(chǎn)生的圓形平頂光斑的尺寸,大約是衍射極限光斑尺寸的1.5倍。EKSMA Optics圓形光束整形透鏡生成的平頂光斑尺寸的大小取決于聚焦鏡的焦距(f)、光束直徑@1/e2(d)和波長(λ)。EKSMA光束整形透鏡這種光束整形DOE所實現(xiàn)的平頂光斑尺寸通常小于100 µm,并且可以通過使用不同的聚焦鏡縮放。
使用平頂光斑整形器得到的光斑大致大小可以通過以下公式計算:
2 * λ * f / d 或 λ / NA
其中NA是FBSR光束整形器聚焦光束的數(shù)值孔徑。

ESKMA圓形平頂光束整形鏡實物圖
EKSMA圓形光束整形透鏡生成的平頂光斑相關(guān)參數(shù):
EKSMA圓形平頂光束整形鏡基底相關(guān)參數(shù):
EKSMA 光束整形器基底參數(shù) | 參數(shù)數(shù)值 |
平頂光束整形器材質(zhì) | 熔融石英 |
透過率 | >99% |
激光損傷閾值@10ns | 10 J/cm2 @ 1064 nm 5 J/cm2 @ 532 nm 3 J/cm2 @ 355 nm |
圓形光束整形鏡尺寸 | ?25.4 x 3 mm |
EKSMA圓形光束整形鏡工作要求:
-高斯光束,TEM00模式。光束質(zhì)量M2大于等于1.4
-光路中的所有元件通光孔徑大于光束直徑@ 1/e2的2.2 倍
-必須橫向?qū)R(平移),圍繞光軸旋轉(zhuǎn)有助于對齊平頂光的方向
與平頂光透鏡搭配的其他光學(xué)設(shè)備:
-必須設(shè)備:聚焦鏡,平頂光打在聚焦鏡的焦平面
-實用設(shè)備:擴束器,用于調(diào)整光束直徑以符合有效孔徑要求,以及調(diào)整所需的光斑尺寸
-有用設(shè)備:光束分析儀,可用在平頂光透鏡對準時檢查形狀



EKSMA圓形光束整形鏡光斑示意圖