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VC60-5系列 電動直驅(qū)升降臺是納米級定位精度的托舉運動升降平臺，直線電機驅(qū)動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達120Hz...

SurfaceZ系列 電動直驅(qū)升降臺是納米級定位精度的垂直運動Z向平臺，直線電機驅(qū)動，采用交叉滾柱導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達200...

ART130V-5系列 直驅(qū)升降臺是納米級定位精度托舉運動升降平臺，直線電機驅(qū)動，交叉滾珠導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達150Hz以上...

SMH-V系列 電動直驅(qū)升降臺是納米級定位精度托舉運動Z向平臺，包括SMH115V-010 、SMH165V-020、SMH190V-035等，對應行程分別是1...

ART165V-5系列 直驅(qū)升降臺是納米級定位精度托舉運動升降平臺，直線電機驅(qū)動，交叉滾珠導軌，具備非常優(yōu)秀的動態(tài)性能和定位精度，空載截止頻率可達150Hz以上...